以前的多晶硅(p-si)要求的沉積溫度高,對基于玻璃的LCD制造來說是不現(xiàn)實的。然而,今天的LTPS技術(shù)已經(jīng)克服了很多諸如此類的制造問題,并且其固有的高速度還為顯示器提供了看得見的好處;诓AУ膒-si的另外一個優(yōu)勢在于,其驅(qū)動器芯片也可以采用同樣的工藝進行生產(chǎn),從而節(jié)省了空間,提高了可靠性。隨著用于低溫環(huán)境的新型低成本制造方法的開發(fā),p-si顯示技術(shù)將會繼續(xù)獲得多元化應(yīng)用,取得一定市場占有率。他們將很快發(fā)展成智能型、高附加價顯示器,除了門陣列驅(qū)動器外,最終也會將存儲器和CPU集成在里面。同當(dāng)代a-si或p-si技術(shù)相比,這些“基于玻璃的系統(tǒng)(System On Glass)”類型的FPD需要的電力比較少,能產(chǎn)生更明亮的圖像,具有更快的反應(yīng)速度,能提供更高的分辨率,而且需要的外部電路更少。
LTPS顯示器需要進行更多的測試,因為他們除了像素TFT外,還帶有其他控制器件,而且其應(yīng)用傾向于視頻。這些測試包括驅(qū)動器IC測量、帶有時鐘信號的數(shù)碼測試,和檢查高頻操作特性。因此,同傳統(tǒng)的a-si產(chǎn)品相比,較高的測試產(chǎn)量顯得相當(dāng)重要。如果p-si有源器件外形非常小,并且在較小電流時的工作效率更高,那么相較a-si器件來說,對他們進行測試時就需要更高的敏感度。
否則,就要對p-si FPD進行類似參數(shù)測試,所有測量問題與a-si技術(shù)相同。然而,輔助信號源和儀器卻使LTPS測試系統(tǒng)單元間的整合成為另一問題,其中包括參數(shù)測試儀接口、同步和軟件的兼容性。
當(dāng)用于視頻領(lǐng)域的高速AMLCD于1990年出現(xiàn)的時候,Keithley就開發(fā)了一整套高速工序監(jiān)控系統(tǒng)解決方案,幫助顯示器OEM廠商提高生產(chǎn)量和更容易地控制產(chǎn)品質(zhì)量。由于LTPS允許將驅(qū)動器和其他電路集成在一塊玻璃上,Keithley的TEG系統(tǒng)增加了脈沖和射頻能力,以支持專用高速功能測試。這些功能可與早期用于生產(chǎn)過程的TEG測試系統(tǒng)組合使用,因此避免了昂貴的包裝環(huán)節(jié),即達到了商業(yè)化的糾正和修理要求。
Keithley提供各種不同的測試平臺,允許LTPS顯示器OEM廠商對測量敏感度和生產(chǎn)量進行優(yōu)化。當(dāng)遇到超低電流測量問題時,S400自動化參數(shù)測試(APT)系統(tǒng)可通過其完全布線應(yīng)用程序,提高測試產(chǎn)量。當(dāng)同時要求超低電平測量和較高的測試產(chǎn)量的時候,為了擴展S400應(yīng)用中的測量敏感度,4200-SCS通過系統(tǒng)矩陣,連接到四個獨立的像素探針卡。采用這種布局,DUT端的電流敏感度可達到1-2fA。當(dāng)然,也可以采用其他許多硬件對系統(tǒng)進行優(yōu)化,以滿足特殊應(yīng)用的要求。
作者:Charles Cimino and David Rose。進一步信息,請參考美國吉時利儀器公司(Keithley Instruments, Inc.)技術(shù)白皮書《New Test Realities for Evolving FPD Technologies》,網(wǎng)址為http://www.keithley.com/data?asset=10558。