MEMS元器件的產(chǎn)品類型繁多，目前商業(yè)化的主要產(chǎn)品包括微流體元器件、慣性傳感器、壓力傳感器、RF MEMS、光學(xué)MEMS等等。屬于慣性傳感器的三軸加速度計(Tri-axis Accelerometer)是其中相當實用和有趣的一項新興產(chǎn)品。目前二軸加速度計已廣泛被用在車輛當中，當車子一旦發(fā)生碰撞，它就會感測到并自動觸發(fā)安全氣囊(Airbag) 。

在信息及消費性的市場上，三軸加速度計可用來保證電子產(chǎn)品，以筆記本電腦為例，當它不小心從桌面或其它地方墜落時，三軸加速度計會偵測到此一不平常的加速度變化，并實時在設(shè)備碰撞地面時鎖住硬盤磁頭，以免造成的硬盤驅(qū)動器上數(shù)據(jù)的遺失。同樣的道理，它也可以用于汽車遭拖移時的防盜偵測功能。

由于三軸加速度計可以用來測量加速度、探測運動方向和傾角，因此也可以用來作為狀態(tài)識別裝置，例如通過傾斜角度來向上或向下滾動手機、PDA及3D游樂器的屏幕，或以搖動的方式來關(guān)閉這些設(shè)備。這種通過特定動作來下達控制指令的用途，除了提供了鍵盤輸入以外的便利途徑，也為強調(diào)趣味變化與增值功能的消費性手持設(shè)備增添了許多想象空間。

還有一項重要的應(yīng)用，那就是將三軸加速度計、陀螺儀(Gyroscope)和磁羅盤等MEMS元器件與GPS結(jié)合，能夠提供所謂的方位推估(Dead Reckoning, DR)功能。當汽車在無法接收GPS信號的地方或GPS信號不良時，DR功能就能取代GPS繼續(xù)進行導(dǎo)航定位。通過上述各種傳感器，DR可以推算出汽車的行進距離和方向。在短距離內(nèi)，DR系統(tǒng)所提供的數(shù)據(jù)比GPS的信號來得準確，因此可做為短距離內(nèi)的汽車定位誤差修正輔助，不過，當時間增加時，誤差累積效應(yīng)會愈來愈大，導(dǎo)航的精確度就會大幅下降。