科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展極大地豐富了壓力測(cè)量產(chǎn)品的種類,現(xiàn)在,壓力傳感器的敏感原理不僅有電容式、壓阻式、金屬應(yīng)變式、霍爾式、振筒式等等但仍以電容式、壓阻式和金屬應(yīng)變式傳感器最為多見(jiàn)。
其中,金屬應(yīng)變式壓力傳感器是一種歷史較長(zhǎng)的壓力傳感器,但由于它存在遲滯、蠕變及溫度性能差等缺點(diǎn),其應(yīng)用場(chǎng)合受到了很大的限制。壓阻式傳感器是利用半導(dǎo)體壓阻效應(yīng)制造的一種新型的傳感器,它具有制造方便,成本低廉等特點(diǎn),但由于半導(dǎo)體材料對(duì)溫度極為敏感,所以其性能受溫度影響較大,產(chǎn)品的一致性較差。
電容式傳感器是應(yīng)用最廣泛的一種壓力傳感器,其原理十分簡(jiǎn)單。一個(gè)無(wú)限大平行平板電容器的電容值可表示為:
C = εA / d
式中,C為電容量;A為極板間相互覆蓋面積;d為兩極板間距離;ε為兩極板間介質(zhì)的介電常數(shù)。
改變其中某個(gè)參數(shù),即可改變電容量。由于結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,幾乎所有電容式壓力傳感器均采用改變間隙的方法來(lái)獲得可變電容。電容式傳感器的初始電容值較小,一般為幾十皮法,它極易受到導(dǎo)線電容和電路的分布電容的影響,因而必須采用先進(jìn)的電子線路才能檢測(cè)出電容的微小變化?梢哉f(shuō),一個(gè)好的電容式傳感器應(yīng)該是可變電容設(shè)計(jì)和信號(hào)處理電路的完美結(jié)合。