利用半導體氣敏元件吸附氣體后引起其性質變化的特性而制成的器件叫做氣體傳感器,它是一種氣電轉換元件。
氣體傳感器可以分為電阻式和非電阻式兩種。目前使用的大多數(shù)式電阻式氣體傳感器。電阻式氣體傳感器是用氧化錫﹑氧化鋅﹑氧化鐵等金屬氧化物制作,利用其電阻值隨被測氣體的濃度而變化來檢測氣體的濃度。非電阻式氣體傳感器是另一種半導體器件,它們與氣體接觸后,如二極管的伏安特性或場效應管的電容——電壓等都會發(fā)生變化,根據(jù)這些特性變化來測定氣體的濃度變化。