【產(chǎn)通社，3月7日訊】上海微電子裝備有限公司（SMEE）官網(wǎng)消息，其將參展2017年3月14-16日在上海新國際博覽中心舉辦的SEMICON China，重點(diǎn)展出應(yīng)用于IC前道制造的600系列步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)。此外，產(chǎn)品總監(jiān)將在“2017中國顯示大會(huì)-新型顯示”論壇上就《TFT玻璃基板1.5um曝光分辨率工藝解決方案》發(fā)表演講。相關(guān)情況如下：
 - 展位：W4-4601
 - 論壇日期：2017年3月15日
 - 演講時(shí)段：11:10-11:40
 - 論壇地點(diǎn)：W2館，2樓，209會(huì)議室

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