【產(chǎn)通社,11月21日訊】上海微電子裝備有限公司(SMEE)官網(wǎng)消息,其11月4日在第十六屆中國國際工業(yè)博覽會(CIIF 2014)上推出了面向IGBT退火工藝的SLD500激光退火設(shè)備,吸引了業(yè)界同行和客戶的廣泛關(guān)注。
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