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應(yīng)用材料PVD和PECVD技術(shù)適于下一代LCD與OLED
2012/12/17 10:22:58     

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【產(chǎn)通社,12月17日訊】應(yīng)用材料公司(Applied Materials, Inc.)官網(wǎng)消息,其新的物理氣相沉積(PVD)和電漿強(qiáng)化化學(xué)氣相沉積(PECVD)技術(shù),促使超高畫質(zhì)(UHD)電視及高像素密度屏幕的行動(dòng)裝置邁向新紀(jì)元。這項(xiàng)重大轉(zhuǎn)型技術(shù)的關(guān)鍵是新的金屬氧化物與低溫多晶硅(LTPS) 材料,可用來制造更快速、更小巧的薄膜晶體管 (TFT),適用于液晶顯示器(LCD)和有機(jī)發(fā)光二極管(OLED)技術(shù)。Applied AKT-PiVot物理氣相沉積和Applied AKT-PX 電漿強(qiáng)化化學(xué)氣相沉積薄膜沉積系統(tǒng)為面板業(yè)者提供高效能、符合成本效益的途徑,帶動(dòng)先進(jìn)材料的量產(chǎn)。

應(yīng)用材料公司集團(tuán)副總裁暨顯示器事業(yè)群總經(jīng)理Tom Edman表示:“在過去的20年中,TFT技術(shù)的精進(jìn),推動(dòng)顯示器產(chǎn)業(yè)進(jìn)行一場最關(guān)鍵的技術(shù)轉(zhuǎn)型。應(yīng)用材料公司開發(fā)出通過驗(yàn)證的系統(tǒng)產(chǎn)品組合,協(xié)助我們客戶技術(shù)躍進(jìn),進(jìn)而運(yùn)用這些新的薄膜。客戶利用我們的系統(tǒng)獲得出色的成果,應(yīng)用材料公司業(yè)已獲得主要顯示器制造商的多張訂單!


產(chǎn)品特點(diǎn)


AKT-PiVot PVD系統(tǒng)針對(duì)采用金屬氧化物的TFT,使用專屬的旋轉(zhuǎn)陰極技術(shù)來沉積銦鎵鋅氧化物(IGZO),這是具有高電子遷移率的新材料,能形成晶體管通道。PiVot系統(tǒng)為顯示器產(chǎn)業(yè)提供了強(qiáng)大的IGZO解決方案,能夠克服影響顯示器質(zhì)量的顯示不均 (mura effect) 缺陷,這項(xiàng)問題曾讓金屬氧化物技術(shù)無法成為液晶顯示器的主流。此外,由PiVot沉積的銦鎵鋅氧化物薄膜突破了TFT穩(wěn)定性問題,確保OLED可以使用金屬氧化物背板,大幅降低成本,讓經(jīng)濟(jì)實(shí)惠而細(xì)致鮮艷的大型OLED電視成為可能。

低溫多晶硅(LTPS)技術(shù)是一項(xiàng)通過驗(yàn)證的方法,可用來制造行動(dòng)LCD和OLED裝置的最高分辨率顯示屏,但一直面臨玻璃基板放大問題和單位制造成本高昂的挑戰(zhàn)。應(yīng)用材料公司AKT-PX電漿強(qiáng)化化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)的全新擴(kuò)充系列產(chǎn)品,可在1.6平方公尺到5.7平方公尺的玻璃基板上沉積出極為均勻的LTPS薄膜。這些加大的基板,讓面板制造商能夠?qū)崿F(xiàn)經(jīng)濟(jì)規(guī)模,大幅提高產(chǎn)能并降低成本,同時(shí)也讓全球各地?cái)?shù)十億的消費(fèi)者能夠享受大型LCD電視。應(yīng)用材料的系統(tǒng)用于大面積玻璃制造,也有助加速LTPS技術(shù)的轉(zhuǎn)型,讓行動(dòng)裝置與電視的屏幕變得更大。


供貨與報(bào)價(jià)


查詢進(jìn)一步信息,請(qǐng)?jiān)L問官方網(wǎng)站http://www.appliedmaterials.com/display

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