【產(chǎn)通社，6月16日訊】意法半導(dǎo)體（STMicroelectronics；NYSE股票代碼：STM）官網(wǎng)消息，其與新加坡科技研究局微電子研究所 (A*STAR IME) 和愛(ài)發(fā)科 (ULVAC) 合作，共同拓展意法半導(dǎo)體在新加坡的“廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室”(LiF)合作項(xiàng)目。新一期項(xiàng)目包括與新加坡科技研究局材料研究與工程研究所 (A*STAR IMRE) 以及新加坡國(guó)立大學(xué) (NUS)的合作項(xiàng)目。 

該計(jì)劃將有助于推進(jìn)環(huán)保型無(wú)鉛壓電材料的應(yīng)用，為傳感器和執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)高成本效益和微型化賦能。高等院校、初創(chuàng)企業(yè)、中小企業(yè)和跨國(guó)公司能夠利用整套生產(chǎn)線加快新型壓電微機(jī)電系統(tǒng)器件的市場(chǎng)轉(zhuǎn)化。生產(chǎn)的樣片預(yù)計(jì)將用于包括 3D投影和成像的壓電微機(jī)械超聲換能器，個(gè)人電子產(chǎn)品的微型揚(yáng)聲器，以及用于智能手機(jī)攝像頭模塊的自動(dòng)對(duì)焦裝置。 

意法半導(dǎo)體模擬、功率分立器件、MEMS 和傳感器產(chǎn)品部門(mén)（APMS）副總裁及中央研發(fā)總經(jīng)理 Anton Hofmeister表示：“我們很高興能夠推進(jìn)這項(xiàng)合作計(jì)劃，歡迎新加坡科技研究局材料研究與工程研究所和新加坡國(guó)立大學(xué)加入廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室計(jì)劃2.0的新項(xiàng)目研發(fā)。這項(xiàng)計(jì)劃將推動(dòng)壓電 MEMS 技術(shù)的創(chuàng)新，并支持下一代器件的市場(chǎng)轉(zhuǎn)化�！� 

新加坡科技研究局創(chuàng)新與企業(yè)副局長(zhǎng)Yeo Yee Chia教授表示：“我們正在深化和拓展與重要且具備創(chuàng)新材料、工具和工藝模塊的供應(yīng)商，以及技術(shù)開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)和制造企業(yè)的合作關(guān)系，并在研發(fā)成果的市場(chǎng)轉(zhuǎn)化方式上探索創(chuàng)新。這種合作方式將加快下一代采用環(huán)保無(wú)鉛材料的節(jié)能壓電MEMS器件的市場(chǎng)轉(zhuǎn)化，同時(shí)鞏固新加坡在全球半導(dǎo)體價(jià)值鏈中的地位�！� 

愛(ài)發(fā)科設(shè)備業(yè)務(wù)總部先進(jìn)電子設(shè)備部執(zhí)行官兼總經(jīng)理 Harunori Iwai 表示：“我們很榮幸能夠參與這一開(kāi)創(chuàng)性的合作計(jì)劃，為壓電 MEMS 行業(yè)貢獻(xiàn)我們?cè)谥圃旒夹g(shù)解決方案方面積累的知識(shí)經(jīng)驗(yàn)。 

廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室計(jì)劃早已于 2020 年落地，立項(xiàng)的目的是開(kāi)發(fā)一種通過(guò)物理氣相沉積 (PVD)方式生長(zhǎng)鋯鈦酸鉛 (PZT)薄膜的方法。與傳統(tǒng)的體壓電技術(shù)相比，物理氣相沉積方法顯著降低了鉛含量。這項(xiàng)目的的成功促使了本次的深入廣泛的合作。 

除壓電微電解系統(tǒng)MEMS外，新加坡的技術(shù)研發(fā)重點(diǎn)領(lǐng)域還包括異構(gòu)整合先進(jìn)封裝；碳化硅、氮化鎵等寬帶隙半導(dǎo)體；毫米波射頻等技術(shù)；平面光學(xué)元件、光子異構(gòu)集成等先進(jìn)光子技術(shù)。這些重點(diǎn)領(lǐng)域已列入新加坡科技研究創(chuàng)新與企業(yè)2025規(guī)劃（RIE 2025），旨在促進(jìn)新加坡發(fā)展成為創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)的經(jīng)濟(jì)社會(huì)。 

廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室是新加坡半導(dǎo)體生態(tài)系統(tǒng)的重要參與者，致力于促進(jìn)與傳感器和執(zhí)行器公司、制造企業(yè)及其供應(yīng)商的合作，基于廠內(nèi)實(shí)驗(yàn)室的先進(jìn)材料和器件平臺(tái)，為國(guó)內(nèi)外高等院校提供多項(xiàng)目晶圓流片服務(wù)，同時(shí)還提供大學(xué)生實(shí)習(xí)和博士生研究機(jī)會(huì)，以擴(kuò)大本地和全球壓電 MEMS人才儲(chǔ)備。

查詢進(jìn)一步信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)官方網(wǎng)站http://www.st.com.cn/content/st_com/zh.html。（張怡，產(chǎn)通發(fā)布）    （完）