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 【產(chǎn)通社,2月10日訊】湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司(Hubei Heyuan Gas Co.,Ltd.;股票代碼:002971)消息,其近日取得了《一種半導(dǎo)體用超高純氯化氫氣體的制備裝置及其工藝》發(fā)明專利,具體情況如下: 專利號:ZL2021 11321362.7 專利申請日:2021 年 11月 09 日 授權(quán)公告日:2025 年 01月 14 日 證書號:第7668169號 本發(fā)明專利“一種半導(dǎo)體用超高純氯化氫氣體的制備裝置及其工藝”是一種以工業(yè)產(chǎn)品氣體為原料,采用高分子滲透膜、金屬陽離子交換樹脂、稀土金屬化合物脫水與高壓精餾的結(jié)合,可將組分中 CO2 雜質(zhì)脫除至 0.1ppm 以下、金屬離子含量脫除至 10ppt 以下;所述制備工藝擺脫了現(xiàn)有技術(shù)對原料的依賴,在生產(chǎn)超高純氯化氫氣體的同時產(chǎn)生多種品質(zhì)的氯化氫氣體,尾氣減少的同時易于處理,適用于工業(yè)化推廣。 查詢進(jìn)一步信息,請?jiān)L問官方網(wǎng)站 http://www.hbhy-gas.com。(robin, 張底剪報(bào)) (完)
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