【產(chǎn)通社，2月10日訊】湖北和遠(yuǎn)氣體股份有限公司（Hubei Heyuan Gas Co.,Ltd.；股票代碼：002971）消息，其近日取得了《一種半導(dǎo)體用超高純氯化氫氣體的制備裝置及其工藝》發(fā)明專利，具體情況如下：
專利號：ZL2021 11321362.7
專利申請日：2021 年 11月 09 日
授權(quán)公告日：2025 年 01月 14 日
證書號：第7668169號

本發(fā)明專利“一種半導(dǎo)體用超高純氯化氫氣體的制備裝置及其工藝”是一種以工業(yè)產(chǎn)品氣體為原料，采用高分子滲透膜、金屬陽離子交換樹脂、稀土金屬化合物脫水與高壓精餾的結(jié)合，可將組分中 CO2 雜質(zhì)脫除至 0.1ppm 以下、金屬離子含量脫除至 10ppt 以下；所述制備工藝擺脫了現(xiàn)有技術(shù)對原料的依賴，在生產(chǎn)超高純氯化氫氣體的同時產(chǎn)生多種品質(zhì)的氯化氫氣體，尾氣減少的同時易于處理，適用于工業(yè)化推廣。

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