【產(chǎn)通社，11月22日訊】尼康精機（上海）有限公司（Nikon Corporation）官網(wǎng)消息，為應(yīng)對功率半導(dǎo)體、通信用半導(dǎo)體，MEMS等各種器件，其發(fā)售與既有設(shè)備替換性高的縮小投影倍率5倍 i線步進式光刻機NSR-2205iL1。該設(shè)備性價比優(yōu)異，對晶圓材質(zhì)的包容性強，能為各種半導(dǎo)體器件的高效率生產(chǎn)做出貢獻。為時隔25年※1發(fā)售的縮小投影倍率為5倍的i線步進式光刻機。


產(chǎn)品特點


隨著電動汽車和高速通信，各種IT設(shè)備的普及，與此相應(yīng)的半導(dǎo)體的需求也不斷升高。為應(yīng)對多樣的半導(dǎo)體性能的要求，客戶對曝光設(shè)備的要求也越來越復(fù)雜和精密。

迄今為止，尼康一直通過翻新二手設(shè)備來滿足客戶的的需求。為了緩解客戶既有設(shè)備老化以及新i線設(shè)備供需緊張的矛盾，尼康基于”客戶伴走活動”所知，推出縮小投影倍率5倍i線步進式光刻機來提供客戶最合適的解決方案。此外，通過擴充對應(yīng)不同需求的產(chǎn)品選項，尼康會持續(xù)地，長期地支持半導(dǎo)體客戶的生產(chǎn)。

主要特點
（1）應(yīng)對多樣化需求，實現(xiàn)高性價比。多點自動對焦(AF)以實現(xiàn)晶圓測量高精度化，晶圓臺Leveling性能增強、Wide DOF（焦點深度范圍擴大）等，使各種半導(dǎo)體制造工藝保持良率水準的同時，實現(xiàn)較高生產(chǎn)性能。此外，晶圓的厚度、大小、翹曲的對應(yīng)范圍加強后，亦可適用于SiC（碳化硅）和GaN（氮化鎵）等素材，用途上也得以更加廣泛使用。如此通過應(yīng)對多樣化需求，實現(xiàn)了高性價比。
（2）與既有設(shè)備的高兼容性。正在使用尼康的i線曝光設(shè)備的客戶，所持有的原有資產(chǎn)（mask、recipes等）可以繼續(xù)使用，可以輕松替代既有設(shè)備。
（3）為長期使用而設(shè)計的設(shè)備。設(shè)備中使用的一部分零件由特定品到市場上流通性高的通用品的替代，與之前相比零件的購入更加簡單，以實現(xiàn)設(shè)備的長期使用。


供貨與報價


2024年夏季左右發(fā)售。查詢進一步信息，請訪問官方網(wǎng)站http://www.nikon-precision.com.cn/news/。（張怡，產(chǎn)通發(fā)布）    （完）