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 【產(chǎn)通社,4月11日訊】東莞銘普光磁股份有限公司(Dongguan Mentech Optical & Magnetic;股票代碼:002902)消息,其近日取得中華人民共和國家知識產(chǎn)權(quán)局頒發(fā)的明專利證書, 具體情況如下: 證書號:第5846652號 發(fā)明名稱:一種晶圓減薄方法 專利號:ZL202110645550.9 發(fā)明專利申請日:2021年06月10日 授權(quán)公告日:2023年04月07日 本發(fā)明涉及晶圓處理技術(shù)領(lǐng)域,具體一種減薄方法取襯底進(jìn)行預(yù)處理;在待的晶圓表面覆上膠體層,測量厚度控制度在預(yù)定范圍內(nèi);將晶圓粘接襯底上并對進(jìn)行減薄處理,待完成后使晶圓和襯底進(jìn)行分離。以此先將粘接在上再對減薄處理,使得襯底在減薄處理過程中能為晶圓提供支撐,可以有效降低時碎裂的風(fēng)險,提高晶圓的生產(chǎn)質(zhì)量有利于品良率。 查詢進(jìn)一步信息,請訪問官方網(wǎng)站 http://www.mnc-tek.com。(Robin Zhang,張底剪報) (完)
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