【產(chǎn)通社，6月23日訊】中密控股股份有限公司（Sinoseal Holding Co.,Ltd.；股票代碼：300470）消息，其近日收到由中華人民共和國國家知識產(chǎn)權(quán)局頒發(fā)的《密封裝置、密封控制系統(tǒng)及硅烷壓縮機(jī)》實(shí)用新型專利證書，獲得形式為原始取得，專利號ZL202123453189.4，申請日2021年12月31日，授權(quán)公告日2022年6月14日，證書號第16728573號。

實(shí)用新型專利《密封裝置、密封控制系統(tǒng)及硅烷壓縮機(jī)》涉及一種密封裝置和密封控制系統(tǒng)，主要應(yīng)用于制備高純度硅烷的含硅半導(dǎo)體生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域。該密封裝置采用獨(dú)特的四級密封串聯(lián)布置的型式，系統(tǒng)流程上配置了氣體過濾、氣體調(diào)壓、泄漏物監(jiān)測及硅烷泄漏物回收等單元及完備的自動控制手段。該技術(shù)可保證機(jī)組內(nèi)部極具自燃性的硅烷氣體不會泄漏至大氣中、機(jī)組外部非硅烷氣體不會進(jìn)入壓縮機(jī)內(nèi)部、微量硅烷泄漏氣體可回收等，提高了密封裝置運(yùn)行的安全性和穩(wěn)定性。該技術(shù)已應(yīng)用于公司部分產(chǎn)品上。

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