【產(chǎn)通社，10月24日訊】北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（NAURA Technology Group Co., Ltd.；股票代碼：002371）官網(wǎng)消息，其2020年度北京市科學(xué)技術(shù)獎獲獎名單近日正式發(fā)布。該年度內(nèi)北京市科學(xué)技術(shù)獎共收到提名書633份，其“12英寸先進(jìn)集成電路制程電感耦合等離子刻蝕機研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目”，喜獲北京市科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎一等獎！

“12英寸先進(jìn)集成電路制程電感耦合等離子刻蝕機研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化項目”是由北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司、上海集成電路研發(fā)中心有限公司、中科院微電子研究所共同完成的集成電路技術(shù)領(lǐng)域的科研成果。12英寸先進(jìn)集成電路制程電感耦合等離子刻蝕機是北方華創(chuàng)歷經(jīng)多年自主創(chuàng)新，取得的突破性研發(fā)成果。該設(shè)備采用自主知識產(chǎn)權(quán)、大面積、低容性的新型高密度等離子體源系統(tǒng)設(shè)計，實現(xiàn)了刻蝕均勻性的精確控制，并通過高效穩(wěn)定的晶圓傳輸、顆粒和金屬污染控制等關(guān)鍵技術(shù)設(shè)計，提升了設(shè)備量產(chǎn)性能。目前，12英寸先進(jìn)集成電路制程電感耦合等離子刻蝕機，已通過主流芯片生產(chǎn)線的工藝和量產(chǎn)驗證，并實現(xiàn)批量銷售。

查詢進(jìn)一步信息，請訪問官方網(wǎng)站http://www.naura.com。（張怡，產(chǎn)通發(fā)布）    （完）