【產(chǎn)通社，6月28日訊】北方華創(chuàng)科技集團(tuán)股份有限公司（NAURA Technology Group Co., Ltd.；股票代碼：002371）官網(wǎng)消息，更小尺寸的MicroLED的芯片制作對(duì)設(shè)備提出了更高的要求，其多款產(chǎn)品在海內(nèi)外各大主流產(chǎn)線中均有大量應(yīng)用，產(chǎn)品覆蓋ICP ETCH、PECVD、PVD（AIN sputter、Metal sputter、ITO sputter）、ALD等設(shè)備種類。


產(chǎn)品特點(diǎn)


在傳統(tǒng)ICP刻蝕設(shè)備的基礎(chǔ)上，NAURA LED ICP刻蝕設(shè)備對(duì)上下電極系統(tǒng)、加熱控溫系統(tǒng)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了刻蝕均勻性的有效提升，能夠滿足MicroLED芯片的均勻性及邊緣利用率要求。此款設(shè)備適用于MicroLED多種材料刻蝕，覆蓋藍(lán)綠、紅黃芯片制造全流程，具有精準(zhǔn)的線寬控制與高速刻蝕能力，可實(shí)現(xiàn)穩(wěn)定量產(chǎn)并具備優(yōu)異的刻蝕均勻性。同時(shí)，該設(shè)備配置的Cassette in Cassette out自動(dòng)生產(chǎn)模式可實(shí)現(xiàn)優(yōu)良的顆�？刂颇芰�。

NAURA LED PECVD設(shè)備采用托盤載片和多站動(dòng)態(tài)作業(yè)模式，為MicroLED芯片制造提供了先進(jìn)的PECVD工藝設(shè)備解決方案。通過對(duì)鍍膜方式的迭代升級(jí)，實(shí)現(xiàn)了更優(yōu)的片內(nèi)和片間均勻性；通過對(duì)反應(yīng)腔上下電極系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)了更大的單機(jī)產(chǎn)能輸出能力。近年來，NAURA LED PECVD設(shè)備的顆�？刂颇芰σ约白詣�(dòng)化程度明顯提升，可實(shí)現(xiàn)工廠端自動(dòng)化生產(chǎn)，能夠滿足MicroLED對(duì)芯片制造的要求。
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供貨與報(bào)價(jià)


查詢進(jìn)一步信息，請(qǐng)?jiān)L問官方網(wǎng)站http://www.naura.com。（張怡，產(chǎn)通發(fā)布）    （完）