【產(chǎn)通社，6月25日訊】中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc.；股票代碼：688012）官網(wǎng)消息，其于2021年6月9日在上�？偛颗e辦電感耦合等離子體（ICP）刻蝕設(shè)備Primo nanova第100臺(tái)反應(yīng)腔交付客戶(hù)慶祝儀式。中微公司執(zhí)行副總裁兼首席運(yùn)營(yíng)官杜志游博士、集團(tuán)副總裁兼等離子刻蝕產(chǎn)品事業(yè)總部總經(jīng)理倪圖強(qiáng)博士、副總裁兼ICP刻蝕產(chǎn)品部總經(jīng)理劉身健博士和其他核心團(tuán)隊(duì)成員出席了慶祝儀式。

Primo nanova?是中微公司于2018年正式發(fā)布的第一代電感耦合等離子體刻蝕設(shè)備。該設(shè)備采用了中微公司具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的電感耦合等離子體刻蝕技術(shù)，具有對(duì)稱(chēng)的反應(yīng)腔、超高分子泵抽速、獨(dú)特的低電容耦合線(xiàn)圈設(shè)計(jì)和多區(qū)細(xì)分溫控靜電吸盤(pán)等創(chuàng)新特性，幫助客戶(hù)在存儲(chǔ)芯片和邏輯芯片的批量生產(chǎn)中獲得更好的工藝加工能力和更低的生產(chǎn)成本。

目前，中微公司Primo nanova?產(chǎn)品已成功進(jìn)入海內(nèi)外十余家客戶(hù)的晶圓生產(chǎn)線(xiàn)，在領(lǐng)先的邏輯芯片、DRAM和3D NAND廠商的生產(chǎn)線(xiàn)上實(shí)現(xiàn)大規(guī)模量產(chǎn)。在全球客戶(hù)的信任和支持下，中微公司第100腔Primo nanova刻蝕設(shè)備的順利交付，是公司ICP刻蝕產(chǎn)品業(yè)務(wù)發(fā)展新的里程碑，標(biāo)志著產(chǎn)品發(fā)展邁入新的階段。

當(dāng)前集成電路科技發(fā)展日新月異，中微公司將繼續(xù)在全球客戶(hù)和產(chǎn)業(yè)鏈合作伙伴的支持下，持續(xù)開(kāi)發(fā)極具競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)的技術(shù)和產(chǎn)品，助力行業(yè)實(shí)現(xiàn)跨越式發(fā)展。查詢(xún)進(jìn)一步信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)官方網(wǎng)站http://www.amec-inc.com。（張怡，產(chǎn)通發(fā)布）    （完）