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上海微電子裝備（SMEE）雙脈沖激光退火設(shè)備與IGBT生產(chǎn)應(yīng)用獲科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)

2021/5/27 14:19:48

【產(chǎn)通社，5月27日訊】上海微電子裝備有限公司（SMEE）官網(wǎng)宣布，2020年度上海市科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)5月25日公布，其“高性能雙脈沖激光退火設(shè)備研發(fā)與IGBT生產(chǎn)應(yīng)用”獲得2020年度上海市科技進(jìn)步二等獎(jiǎng)。

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http://www.smee.com.cn。（張怡，產(chǎn)通發(fā)布）
（完）

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