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安集微電子2020年獲10項(xiàng)拋光液及光刻膠去除劑相關(guān)發(fā)明專利
2021/4/1 7:42:20     

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【產(chǎn)通社,4月1日訊】安集微電子科技(上海)股份有限公司(Anji Microelectronics Technology;股票代碼:688019)2020年年度報(bào)告顯示,其報(bào)告期內(nèi)繼續(xù)加強(qiáng)研發(fā)投入,與行業(yè)領(lǐng)先客戶合作,進(jìn)一步了解客戶需求,并為其開(kāi)發(fā)創(chuàng)新性的整體解決方案。在拋光液板塊積極加強(qiáng)、全面開(kāi)展全品類產(chǎn)品線的布局,旨在為客戶提供完整的一站式產(chǎn)品和解決方案;在光刻膠去除劑板塊,專注致力于攻克領(lǐng)先技術(shù)節(jié)點(diǎn)難關(guān)并提供相應(yīng)的解決方案。

在銅及銅阻擋層拋光液方面,公司緊跟摩爾定律,緊跟行業(yè)領(lǐng)先客戶的先進(jìn)制程,提前進(jìn)行技術(shù)平臺(tái)的布局及技術(shù)能力的積累,持續(xù)推進(jìn)相關(guān)產(chǎn)品的研發(fā),持續(xù)優(yōu)化已量產(chǎn)的14nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)及以上產(chǎn)品的性能及穩(wěn)定性,為進(jìn)一步擴(kuò)大銷售提供技術(shù)支持,10nm-7nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的技術(shù)研發(fā)按照計(jì)劃進(jìn)行。報(bào)告期內(nèi),已有多款產(chǎn)品在邏輯和存儲(chǔ)芯片領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)量產(chǎn)銷售并持續(xù)改進(jìn)。

在鎢拋光液方面,公司加大了產(chǎn)品平臺(tái)的研發(fā)力度,鎢拋光液產(chǎn)品平臺(tái)逐步完善,已有多款產(chǎn)品應(yīng)用到了3D NAND先進(jìn)制程中,并持續(xù)優(yōu)化提升,穩(wěn)固了在存儲(chǔ)器芯片廠的市場(chǎng)地位。同時(shí),鎢拋光液新產(chǎn)品在邏輯芯片領(lǐng)域也已進(jìn)入客戶論證階段,后續(xù)產(chǎn)品也在持續(xù)研發(fā)中。

在介電材料拋光液方面,公司與客戶緊密合作,共同開(kāi)發(fā)的以二氧化鈰為基礎(chǔ)的產(chǎn)品突破技術(shù)瓶頸,已在3D NAND先進(jìn)制程中取得重要進(jìn)展,并獲得關(guān)鍵客戶認(rèn)可。

在光刻膠去除劑方面,公司銅大馬士革工藝光刻膠去除劑已量產(chǎn)并且持續(xù)擴(kuò)大應(yīng)用;28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)后段硬掩模工藝光刻膠去除劑技術(shù)方面取得突破性進(jìn)展,并已在重要客戶上線穩(wěn)定使用,品質(zhì)性能與國(guó)際領(lǐng)先供應(yīng)商等同,實(shí)現(xiàn)該類產(chǎn)品在28nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的進(jìn)口替代;14nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)后段蝕刻殘留物去除劑的產(chǎn)品開(kāi)發(fā)仍在按計(jì)劃進(jìn)行。

同時(shí),報(bào)告期內(nèi)公司開(kāi)始建立核心原材料自主可控供應(yīng)的能力,以支持產(chǎn)品研發(fā),并保障長(zhǎng)期供應(yīng)的可靠性。

報(bào)告期內(nèi),公司及其子公司共獲得授權(quán)發(fā)明專利10項(xiàng)。截至2020年12月31日,公司及其子公司共獲得205項(xiàng)發(fā)明專利,其中中國(guó)大陸152項(xiàng)、中國(guó)臺(tái)灣44項(xiàng)、美國(guó)4項(xiàng)、新加坡3項(xiàng)、韓國(guó)2項(xiàng);另有226項(xiàng)發(fā)明專利申請(qǐng)已獲受理。

查詢進(jìn)一步信息,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)官方網(wǎng)站http://www.anjimicro.com。(張怡,產(chǎn)通發(fā)布)    (完)
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