【產(chǎn)通社，3月30日訊】中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司（Advanced Micro-Fabrication Equipment Inc.；股票代碼：688012）2020年年度報(bào)告顯示，其報(bào)告期內(nèi)實(shí)現(xiàn)營業(yè)總收入22.73億元，比上年增長16.76%；實(shí)現(xiàn)歸屬于上市公司股東的凈利潤4.92億元，比上年增長161.02%。

（1）CCP刻蝕設(shè)備

報(bào)告期內(nèi)，公司CCP刻蝕設(shè)備產(chǎn)品保持競爭優(yōu)勢(shì)，Primo AD-RIE、Primo SSC AD-RIE、Primo HD-RIE等產(chǎn)品批量應(yīng)用于國內(nèi)外一線客戶的集成電路加工制造生產(chǎn)線，并持續(xù)提升市場占有率，在部分客戶市場占有率已進(jìn)入前三位。此外，在先進(jìn)邏輯電路方面，公司持續(xù)升級(jí)硬件性能，成功取得5納米及以下邏輯電路產(chǎn)線的重復(fù)訂單。在存儲(chǔ)電路方面，公司的刻蝕設(shè)備在64層及128層3D NAND的生產(chǎn)線得到廣泛應(yīng)用。隨著3D NAND芯片制造廠產(chǎn)能的迅速爬升，該等產(chǎn)品的重復(fù)訂單穩(wěn)步增長。同時(shí)，公司積極布局動(dòng)態(tài)存儲(chǔ)器的應(yīng)用，并開始工藝開發(fā)及驗(yàn)證。公司與主流客戶積極合作，定義下一代CCP刻蝕機(jī)的主要功能及技術(shù)指標(biāo)，正開發(fā)更先進(jìn)的CCP刻蝕機(jī)產(chǎn)品。

（2）ICP刻蝕設(shè)備

公司ICP刻蝕設(shè)備已經(jīng)逐步趨于成熟，新推出的Primo nanova產(chǎn)品在10家客戶的生產(chǎn)線上進(jìn)行驗(yàn)證，已有超過50個(gè)工藝在客戶的生產(chǎn)線上達(dá)到指標(biāo)要求，且持續(xù)擴(kuò)大應(yīng)用驗(yàn)證范圍。2020年開始，Primo nanova產(chǎn)品逐步取得客戶的重復(fù)訂單。尤其是2020年下半年，在國內(nèi)存儲(chǔ)客戶的擴(kuò)產(chǎn)帶動(dòng)下，該產(chǎn)品的銷售取得較大進(jìn)展。
在持續(xù)提升Primo nanova刻蝕設(shè)備的市場份額的同時(shí)，公司研發(fā)的具有高輸出率特點(diǎn)的雙反應(yīng)臺(tái)ICP刻蝕設(shè)備Primo Twin-Star也已經(jīng)在客戶端完成認(rèn)證。該產(chǎn)品應(yīng)用中微公司國際領(lǐng)先、獨(dú)特的雙反應(yīng)臺(tái)設(shè)計(jì)理念，沿用了Primo nanova ICP的大部分硬件特征，使得機(jī)臺(tái)在具有良好刻蝕性能的同時(shí)，提升客戶單位資金投入的產(chǎn)能，從而豐富ICP刻蝕設(shè)備種類，增強(qiáng)ICP刻蝕產(chǎn)品的整體競爭力。

（3）MOCVD設(shè)備

報(bào)告期內(nèi)，公司繼續(xù)發(fā)揮在藍(lán)光LED設(shè)備的競爭優(yōu)勢(shì)，Prismo A7等MOCVD產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)大量發(fā)貨。2020年7月，中微公司宣布推出應(yīng)用于深紫外LED外延片生產(chǎn)的Prismo HiT3 MOCVD設(shè)備，該設(shè)備已在行業(yè)領(lǐng)先客戶驗(yàn)證成功。公司正在開發(fā)可用于MiniLED生產(chǎn)的新型MOCVD設(shè)備產(chǎn)品，已在客戶端取得實(shí)質(zhì)性進(jìn)展。

（4）VOC凈化設(shè)備

子公司中微惠創(chuàng)利用分子篩的吸附原理的化學(xué)反應(yīng)器，開發(fā)制造了工業(yè)用大型VOC凈化設(shè)備。設(shè)備可根據(jù)客戶的要求靈活配置不同處理規(guī)模的系統(tǒng)，提供給客戶可靠、穩(wěn)定、安全和節(jié)能的VOC凈化解決方案。目前，中微惠創(chuàng)的VOC凈化設(shè)備已應(yīng)用于國內(nèi)平板顯示行業(yè)生產(chǎn)線。

（5）分布式生態(tài)工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)平臺(tái)

子公司中微匯鏈面向半導(dǎo)體設(shè)備細(xì)分產(chǎn)業(yè)各環(huán)節(jié)核心廠商，建立資源匯聚、數(shù)據(jù)互連、流程互通的基于區(qū)塊鏈的分布式互聯(lián)網(wǎng)平臺(tái)。向500余家入駐企業(yè)用戶提供穿透式供應(yīng)鏈協(xié)同、網(wǎng)絡(luò)化智能制造、質(zhì)量溯源存證等200多個(gè)可訂閱微服務(wù)。

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