【產(chǎn)通社，9月27日訊】Entegris Inc消息，其獨特的流體管理系統(tǒng)，可消除對于當今先進技術(shù)芯片制造不可或缺的化學品輸送系統(tǒng)中的靜電電荷。 

Entegris先進材料處理（AMH）部流體管理副總裁Brett Reichow表示：“流經(jīng)化學品輸送系統(tǒng)的流體中存在的靜電電荷積聚不僅會因靜電放電事件損害系統(tǒng)中的流體處理組件，而且可能導致硅晶片缺陷。靜電放電還會在半導體制造過程中造成不安全的狀況。Entegris創(chuàng)新系統(tǒng)的PFA管道內(nèi)部具有導電條，而且管接頭由導電PFA制成，因此當密封區(qū)域接觸導電條時，管接頭可以接地�！� 

AMH部高級副總裁Bill Shaner表示，“我們已使用自身專有的制造設備和工藝來共擠出超純PFA和導電PFA，以形成單一層。這種獨特的PFA構(gòu)造可降低金屬污染，消除分層風險和潛在的包封區(qū)域，從而保持高化學純度。這款新的解決方案可降低安全風險，并使財產(chǎn)損失的風險降至最低。此外，由于管是半透明的，因此可以目視檢查流經(jīng)系統(tǒng)的流體。Entegris專利申請中的全新ESD系統(tǒng)是又一項重大創(chuàng)新，旨在幫助微電子行業(yè)繼續(xù)朝著更清潔的化學品輸送系統(tǒng)發(fā)展，進而滿足先進工藝節(jié)點的需求�！� 


產(chǎn)品特點


過去，不銹鋼流體管理系統(tǒng)常用于輸送半導體制造中使用的溶劑及其他易燃化學品，現(xiàn)在則無法滿足當今對超低金屬雜質(zhì)日益增長的需求。為此，先進技術(shù)芯片的制造商正逐步從不銹鋼系統(tǒng)轉(zhuǎn)向含氟聚合物（PFA）系統(tǒng)。盡管PFA系統(tǒng)可減少不銹鋼系統(tǒng)造成的金屬污染，但由于PFA是一種非導電的電絕緣體，因此它們帶來了與靜電放電相關(guān)的新挑戰(zhàn)。 

Entegris使用新材料開發(fā)了一款解決方案，經(jīng)證明，該解決方案可以成功減少流經(jīng)管道的流體中積聚的靜電電荷，以及管道外可能積聚的任何電荷。Entegris為高純度處理市場提供創(chuàng)新的連接技術(shù)逾30年，得益于此，其開發(fā)了ESD解決方案，同時該解決方案可提高安全性和減少潛在缺陷。

Entegris針對新系統(tǒng)進行的金屬提取測試的結(jié)果表明，該系統(tǒng)可保持與標準PFA管相似的純度。另外，第三方測試公司也證實了新系統(tǒng)的接地性能令人滿意。 


供貨與報價


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