【產(chǎn)通社，9月22日訊】Alps公司宣布，已經(jīng)開發(fā)了用于檢測氣壓或者高度的HSPP系列壓敏電阻式MEMS壓力傳感器（絕對壓檢測用），該產(chǎn)品為目前世界上最小的壓力傳感器。

該產(chǎn)品采用薄膜處理技術、微細加工技術及封裝技術，實現(xiàn)了小型、低矮化。單個組件的小型型號（HSPPAR）實現(xiàn)了長2.5mm x 2.5mm x0.7mm的尺寸，內置功率放大器的混合型（HSPPAA）實現(xiàn)了長3.5mm x 3.5mm x 1.0mm的尺寸。主要特點包括：
·兩種型號的產(chǎn)品都適合表面貼裝，有助于提高整機產(chǎn)品的設計自由度。
·本產(chǎn)品進行壓力檢測時采取將電阻變化作為電壓信號來讀出的方式，來自外部的壓力使薄膜彎曲并使形成于薄膜上的壓敏電阻組件變形，該變形產(chǎn)生用于檢測的上述電阻變化。

這種方式將薄膜的彎曲量直接當作壓敏電阻組件的電阻變化來捕獲，因此可形成簡單的組件結構，而適合小型化。
·通過微細加工技術加工出極小的傳感組件，實現(xiàn)了產(chǎn)品的薄小型化。
·采取通過優(yōu)化蝕刻條件形成穩(wěn)定的空腔，抑制了外應力影響。
·Si-Si密封接合。
·采用不受溫度變化影響的陶瓷材料等等措施，使產(chǎn)品性能加以穩(wěn)定。

該產(chǎn)品主要用于手機、PND、手表、計步器等，并將從今年的10月起開始出售樣品，樣品價格為1,000日元起（含消費稅）。查詢進一步信息，請訪問

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