【產(chǎn)通社，10月27日訊】北京耐威科技股份有限公司（BEIJING NAVGNSS INTEGRATION CO. LTD；股票代碼：300456）官網(wǎng)消息，其全資子公司Silex Microsystems與矽�？萍迹≦ST）深度合作取得階段成果，成功助力其實(shí)現(xiàn)六軸慣性傳感器（IMU）芯片MEMS晶圓的多批Wafer Lots批量投片、產(chǎn)品驗(yàn)證及規(guī)模量產(chǎn)。

QST IMU器件在業(yè)界第一個(gè)采用了硅通孔（TSV）技術(shù)，將厚單晶硅可動結(jié)構(gòu)層真空鍵合在TSV層和蓋板層之間，相對其他慣性傳感器技術(shù)具有更強(qiáng)的縮減尺寸的潛力。QST MEMS獨(dú)特的制造工藝實(shí)現(xiàn)了雙氣壓腔和優(yōu)越的單質(zhì)量塊陀螺儀/加速度計(jì)設(shè)計(jì)，在提高可靠性、減少M(fèi)EMS傳感元件的尺寸和成本的同時(shí)，在消費(fèi)類IMU產(chǎn)品里實(shí)現(xiàn)了最低的噪聲。

作為一家擁有自主核心技術(shù)的MEMS傳感器公司，矽睿科技在國內(nèi)首家實(shí)現(xiàn)了六軸IMU芯片的規(guī)模量產(chǎn)，截至2019年9月底，已累計(jì)出貨超過一百萬顆。

針對此次合作的成功，Silex CEO Dr. Edvard K?lvesten表示：“作為一家純MEMS代工廠，Silex擁有成熟的TSV等工藝技術(shù)及先進(jìn)的制造設(shè)備，我們很高興能與QST深度合作，共同促成六軸IMU產(chǎn)品的規(guī)模量產(chǎn)。除了持續(xù)對位于瑞典的8寸MEMS晶圓廠進(jìn)行追加投入外，Silex位于北京亦莊的新MEMS 8寸Fab也正在全速建設(shè)中，我們期待為更多像QST這樣的戰(zhàn)略合作伙伴提供更有力的支持�！�

矽�？萍糃EO孫臻表示：“六軸IMU芯片的市場需求非常強(qiáng)勁，同時(shí)增長迅速，特別是在消費(fèi)電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速的亞太及中國市場。QST的消費(fèi)級六軸IMU芯片具備低噪聲等性能上的競爭優(yōu)勢。迄今為止，QST的IMU MEMS設(shè)計(jì)已在數(shù)家MEMS晶圓廠實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，相信此次MEMS工藝優(yōu)化及規(guī)模量產(chǎn)的成功，為QST大規(guī)模市場推廣IMU傳感器產(chǎn)品提供了產(chǎn)能上的進(jìn)一步保證�！�

QST QMI8610集成了3軸陀螺儀和3軸加速度計(jì)，是一款完整的6D MEMS慣性測量單元（IMU），該產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于平衡車，云臺，無人機(jī)，智能手機(jī)及可穿戴，機(jī)器人等消費(fèi)電子產(chǎn)品領(lǐng)域。自去年5月發(fā)布及推廣以來已得到了客戶的廣泛認(rèn)可。

瑞典Silex成立于2000年，長期專注于MEMS芯片的工藝開發(fā)及晶圓制造，擁有世界先進(jìn)的純MEMS代工工藝及不斷增長的代工產(chǎn)能。2012年以來，Silex一直保持在全球MEMS晶圓代工第一梯隊(duì)。在2018年全球MEMS晶圓制造廠商排名中，瑞典Silex繼續(xù)位列純制造廠商第二名、制造廠商第四名，與STMicroelectronics、TELEDYNE DALSA、SONY和TSMC一同位列全球前五。

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