【產(chǎn)通社，9月29日訊】中國(guó)科學(xué)院上海硅酸鹽研究所（Shanghai Institute of Ceramics of the Chinese Academy of Sciences，SICCAS）官網(wǎng)消息，在國(guó)家有關(guān)部委和中國(guó)科學(xué)院科技促進(jìn)發(fā)展局的支持下，其碳化硅晶體項(xiàng)目部在系統(tǒng)掌握氣相組分在籽晶誘導(dǎo)下結(jié)晶過(guò)程規(guī)律的基礎(chǔ)上，近期研制成功新型碳化硅晶錠制備設(shè)備，其中包括集成石英玻璃鐘罩與金屬鐘罩兩者長(zhǎng)處的新型PVT制備設(shè)備和HTCVT制備設(shè)備。目前，前者已投入日常制備實(shí)驗(yàn)，后者已完成集成調(diào)試。研究人員使用新型PVT制備設(shè)備，開發(fā)了籽晶拼接技術(shù)和溫度梯度/氣相組分過(guò)飽和度綜合調(diào)控技術(shù)，制備出滿足加工直徑150mm（6inch）和200mm（8inch）晶圓片要求的晶錠；同時(shí)開發(fā)出晶錠多頭制備技術(shù)，一批次實(shí)驗(yàn)同時(shí)制備出3個(gè)滿足加工直徑100mm（4inch）晶圓片要求的晶錠，大幅度降低了制備成本、提高了制備效率。研究人員還將晶錠多頭制備技術(shù)移植到同類設(shè)備上，一批次同時(shí)制備出3個(gè)滿足加工直徑50.8mm（2inch）晶圓片的晶錠，驗(yàn)證了該項(xiàng)技術(shù)的成熟度和可復(fù)制性。 

此外，在湖州市政府的支持下，研發(fā)人員在湖州南太湖科創(chuàng)中心建成了碳化硅晶錠制備和晶圓片加工示范線，由18臺(tái)PVT制備設(shè)備為主體的晶錠制備線和整形/研磨/拋光/CMP/清洗晶圓片加工線已投入正常運(yùn)行，并研制成功晶錠專用整形一體設(shè)備，開發(fā)了全自動(dòng)晶圓片研磨拋光一體技術(shù)。2019年1-8月的晶圓片加工數(shù)量是2017年全年的9.77倍�？傮w上，項(xiàng)目部在碳化硅晶錠制備和晶圓片加工研究與成套技術(shù)開發(fā)上跨上了新臺(tái)階。 　  

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