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上海微電子裝備（集團(tuán)）激光退火設(shè)備獲得SEMI S2認(rèn)證證書

2019/4/23 7:28:06

【產(chǎn)通社，4月23日訊】上海微電子裝備有限公司（SMEE）官網(wǎng)宣布，其SLD500系列激光退火設(shè)備近日順利通過專業(yè)公司的安全認(rèn)證測試，獲得SEMI S2認(rèn)證證書。該設(shè)備專為IGBT背面退火量產(chǎn)工藝開發(fā)，能恢復(fù)離子注入破壞的晶格結(jié)構(gòu)，從而改善器件性能。

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http://www.smee.com.cn。（Lisa WU, 365PR Newswire）（完）

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