【產(chǎn)通社，4月11日訊】Gigaphoton株式會(huì)社官網(wǎng)消息，其自2019年2月開(kāi)始出產(chǎn)最大輸出級(jí)200W加工裝置用KrF激光器G200K。

2016年，Gigaphoton宣布其利用自身長(zhǎng)期以來(lái)在半導(dǎo)體光刻領(lǐng)域積累的技術(shù)實(shí)力成功開(kāi)發(fā)出了可靠性較高的準(zhǔn)分子激光器“GIGANEX”系列產(chǎn)品，第一代產(chǎn)品公布了面向FPD制造退火工序的KrF激光器GT600K。此次發(fā)布的加工裝置用KrF激光器GT200K是該系列第二代產(chǎn)品。G200K最大輸出功率達(dá)200W，采用Gigaphoton的激光性能穩(wěn)定技術(shù)和模塊壽命延長(zhǎng)技術(shù)實(shí)現(xiàn)高可靠性，有望成為滿足客戶需求的加工裝置用激光器。

Gigaphoton的董事長(zhǎng)兼總經(jīng)理浦中克己表示：“Gigaphoton的‘GIGANEX’秉持將在半導(dǎo)體光刻用準(zhǔn)分子激光器領(lǐng)域長(zhǎng)期積累的技術(shù)應(yīng)用到其他領(lǐng)域的理念研制而成，已形成系列化產(chǎn)品。此次推出第二代產(chǎn)品G200K，擴(kuò)大了產(chǎn)品陣容。Gigaphoton公司今后將繼續(xù)提供‘GIGANEX’的解決方案，為產(chǎn)業(yè)界做出廣泛貢獻(xiàn)�！�

查詢進(jìn)一步信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)官方網(wǎng)站http://www.GIGAPHOTON.com。（Donna Zhang, 張底工業(yè)剪報(bào)）    （完）