【產(chǎn)通社，1月10日訊】蘇州蘇大維格光電科技股份有限公司（SVG Optronics；股票代碼：300331）官網(wǎng)消息，其自主研發(fā)的激光圖形化直寫設(shè)備MiScan200近日前往歐洲交付調(diào)試，團(tuán)隊(duì)?wèi){借專業(yè)的技術(shù)能力及嚴(yán)謹(jǐn)?shù)墓ぷ鲬B(tài)度深受客戶好評(píng)。


產(chǎn)品特點(diǎn)


MiScan激光圖形化直寫設(shè)備（8吋）省去了繁瑣的掩膜加工步驟，提供快速，高效和低成本光刻直寫制程的解決方案，尤其對(duì)于有光刻Mask外協(xié)需求的用戶來說，可以自制相應(yīng)的Mask降低成本或提升研發(fā)速度需求。本產(chǎn)品采用大功率半導(dǎo)體激光光源、長壽命、低功耗，用戶操作界面友好靈活，支持多種版圖設(shè)計(jì)格式，可根據(jù)自身的加工需求，方便靈活的選用不同的投影倍率和不同調(diào)制方式實(shí)現(xiàn)多種模式圖形制備，通用型MiScan產(chǎn)品（單次曝光0.5μm分辨率光刻，支持多次曝光），支持多重對(duì)準(zhǔn)套刻（0.35-0.5μm）套刻精度和翹曲襯底（0-100μm）圖形光刻，尤其適合MEMS器件、功率器件和射頻器件等厚膠套刻。

除此之外，面向光電子、柔性電子和新材料領(lǐng)域，蘇大維格提供從4-70"的紫外微納3D光刻直寫解決方案和高端裝備，包括支持灰度光刻（微納3D形貌）、微納混合光刻（特征結(jié)構(gòu)90nm或更�。┖痛竺娣e微納圖形直寫（高速光刻）。


供貨與報(bào)價(jià)


查詢進(jìn)一步信息，請(qǐng)?jiān)L問官方網(wǎng)站http://www.svgoptronics.com。（產(chǎn)通互聯(lián)網(wǎng)）    （完）