【產(chǎn)通社，12月15日訊】上海新陽半導(dǎo)體材料股份有限公司（Sinyang Semiconductor Materials；股票代碼：300236）官網(wǎng)消息，第21屆中國國際工業(yè)博覽會(huì)于2018年9月19-23日在國家會(huì)展中心（上海）舉行，其SYS9058干法蝕刻清洗液產(chǎn)品榮獲第21屆工博會(huì)新材料優(yōu)秀參展產(chǎn)品一等獎(jiǎng)。

中國工博會(huì)旗下分立8個(gè)專業(yè)展區(qū)，12個(gè)展館，其中新材料產(chǎn)業(yè)展充分利用中國工博會(huì)在先進(jìn)裝備制造領(lǐng)域的平臺(tái)優(yōu)勢(shì)，整合石油化工、機(jī)器人、信息技術(shù)、新能源、汽車、航空航天及國防軍工等產(chǎn)業(yè)鏈上下游資源，匯聚全球材料領(lǐng)先企業(yè)，集中展示頂尖材料技術(shù)在先進(jìn)裝備制造領(lǐng)域的應(yīng)用成果，打造一個(gè)全球材料產(chǎn)業(yè)應(yīng)用的新平臺(tái)。由松江區(qū)經(jīng)濟(jì)委員會(huì)牽頭了松江9家企業(yè)，協(xié)同“G60科創(chuàng)走廊”參展中國工博會(huì)新材料產(chǎn)業(yè)展，9家材料企業(yè)來自不同行業(yè)，積極展示了各自領(lǐng)域中的亮點(diǎn)產(chǎn)品及尖端技術(shù)。上海新陽作為半導(dǎo)體材料企業(yè)也位列其中。

SYS9058是由多種活化物組成的高性能超純化學(xué)品，主要應(yīng)用于芯片制程工藝中干法刻蝕與灰化后的清洗，特別對(duì)Cu/Low-k材料的清洗有效。在中芯國際130-28nm工藝生產(chǎn)線上已取代國際同類產(chǎn)品。此前，中芯國際此類材料完全依賴于進(jìn)口。

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