【產(chǎn)通社，10月6日訊】中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院（National Institute of Metrology，NIM）官網(wǎng)消息，其牽頭承擔(dān)的“十三五”國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“國(guó)家質(zhì)量基礎(chǔ)的共性技術(shù)研究與應(yīng)用”重點(diǎn)專項(xiàng)（NQI專項(xiàng)）“納米幾何特征參量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器研究及應(yīng)用示范”項(xiàng)目實(shí)施方案論證會(huì)9月8日在京召開。來(lái)自北京航空航天大學(xué)、哈爾濱工業(yè)大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院微電子研究所等單位的專家組成咨詢專家組，對(duì)項(xiàng)目實(shí)施方案進(jìn)行了評(píng)審，房建成院士任專家組組長(zhǎng)。21世紀(jì)議程管理中心相關(guān)負(fù)責(zé)人，中國(guó)計(jì)量院院長(zhǎng)方向、相關(guān)職能部門負(fù)責(zé)人以及項(xiàng)目參與單位技術(shù)骨干出席論證會(huì)。

西安交通大學(xué)蔣莊德院士代表項(xiàng)目組介紹了項(xiàng)目總體情況和實(shí)施方案，各課題負(fù)責(zé)人分別匯報(bào)了課題實(shí)施方案。咨詢專家組認(rèn)真聽取了匯報(bào)，重點(diǎn)針對(duì)扁平化校準(zhǔn)方法、納米幾何量量傳體系建設(shè)等提出了質(zhì)詢，并對(duì)納米計(jì)量領(lǐng)域國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)以及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)物質(zhì)的申報(bào)提出了明確的要求。經(jīng)討論，與會(huì)專家一致認(rèn)為項(xiàng)目實(shí)施方案目標(biāo)明確、研究?jī)?nèi)容設(shè)置合理、技術(shù)路線切實(shí)可行、保障措施有力，同意通過(guò)論證。

中國(guó)計(jì)量院科技管理部、財(cái)務(wù)部管理人員及參與項(xiàng)目論證的財(cái)務(wù)專家分別就項(xiàng)目實(shí)施管理要求和經(jīng)費(fèi)使用要求進(jìn)行了宣貫。

目前我國(guó)納米計(jì)量量值傳遞體系尚不完善，納米幾何特征參量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器存在許多空白，導(dǎo)致集成電路、新材料、環(huán)境、醫(yī)學(xué)等行業(yè)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的大量納米測(cè)量設(shè)備必須依賴國(guó)外儀器生產(chǎn)商和檢測(cè)機(jī)構(gòu)進(jìn)行溯源，制約了我國(guó)相關(guān)產(chǎn)業(yè)的自主發(fā)展。為此，中國(guó)計(jì)量院牽頭西安交通大學(xué)、西安微電子技術(shù)研究所、上海市計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究院、蘇州市計(jì)量測(cè)試院等14家單位承擔(dān)了該項(xiàng)NQI項(xiàng)目，針對(duì)納米線寬標(biāo)準(zhǔn)器缺失、相關(guān)量值傳遞體系難以完整構(gòu)建等問(wèn)題，研制從16nm到2000nm的一維、二維柵格和線寬等幾何特征參量計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器，實(shí)現(xiàn)其高精度定值、校準(zhǔn)和量值溯源，并建立覆蓋產(chǎn)業(yè)、地方乃至全國(guó)的全鏈條納米幾何量量值傳遞體系。項(xiàng)目還將在集成電路、航空航天、先進(jìn)制造和生物醫(yī)藥等國(guó)家戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)開展應(yīng)用示范，解決我國(guó)納米計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器缺失以及量傳體系與產(chǎn)業(yè)脫節(jié)的問(wèn)題，為我國(guó)相關(guān)行業(yè)建立產(chǎn)品自主研發(fā)能力、提升產(chǎn)品質(zhì)量和國(guó)際競(jìng)爭(zhēng)力奠定基礎(chǔ)。

查詢進(jìn)一步信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)官方網(wǎng)站http://www.nim.ac.cn。（robin, 張底剪報(bào)）    （完）