【產(chǎn)通社，9月14日訊】上海微電子裝備有限公司（SMEE）官網(wǎng)消息，其晶圓缺陷自動(dòng)檢測(cè)設(shè)備近日順利通過(guò)了專業(yè)公司的安全認(rèn)證測(cè)試，獲得SEMI S2認(rèn)證證書(shū)。該設(shè)備主要應(yīng)用于芯片前道制造、先進(jìn)封裝等集成電路制造領(lǐng)域，可自動(dòng)掃描晶圓的表面圖形，自動(dòng)識(shí)別其中的缺陷并且將找到的缺陷加以分類，能夠極大程度地提高晶圓制造過(guò)程中的工藝控制能力。

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