【產(chǎn)通社，4月30日訊】Gigaphoton株式會社官網(wǎng)消息，下一代解決方案FABSCAPE用于半導(dǎo)體曝光設(shè)備的運轉(zhuǎn)監(jiān)測及解析。對許多半導(dǎo)體制造商來說，收集、解析及活用多種設(shè)備所輸出的大量數(shù)據(jù)是一項艱巨的任務(wù)，長久以來是一項待解決的課題。

Gigaphoton的董事長社長兼CEO浦中克言表示：“作為一家供應(yīng)商，解決客戶的問題是我們每天重要的任務(wù)，但是同時我們也認(rèn)為，針對不同客戶所遇到的特殊問題，提供定制解決方案以供客戶自行簡單迅速解決問題也是至關(guān)重要的。FABSCAPE是一款大膽的開放式軟體，通過與行業(yè)內(nèi)外的合作伙伴共同合作，客戶能夠更加深入地理解設(shè)備的數(shù)據(jù)，并對其進(jìn)行統(tǒng)一處理。我們相信，通過將FABSCAPE作為橋梁的創(chuàng)新，必定能對行業(yè)做出新的貢獻(xiàn)�！�


產(chǎn)品特點


FABSCAPE是一開放平臺，其目的是為了能統(tǒng)一處理任何制造商的數(shù)據(jù)而開發(fā)的。通過在FABSCAPE™上擴展插件及驅(qū)動程序，能實現(xiàn)所有設(shè)備數(shù)據(jù)的統(tǒng)一化，用戶可在同樣條件下更為廣范地解析和評價不同設(shè)備之間的重要性能數(shù)據(jù)。此外，F(xiàn)ABSCAPE還支持用戶通過開發(fā)組合各種功能的插件及驅(qū)動程序，根據(jù)各自的需求實現(xiàn)應(yīng)用軟件的優(yōu)化。

今后Gigaphoton除了可視化工具之外，還將利用以光刻設(shè)備（litho cell）為單位并能自動優(yōu)化維護日程表的“AMAX”插件和AI引擎提供自動化專用插件。

除此之外，針對同時開發(fā)數(shù)據(jù)統(tǒng)一化解決方案的半導(dǎo)體制造商、設(shè)備制造商及其他機關(guān)，Gigaphoton計劃在線提供FABSCAPE。此外，還將提供API、示例代碼、教程、研討會等面向開發(fā)者的豐富工具，不斷促進(jìn)FABSCAPE開放平臺的普及。


供貨與報價


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