【產(chǎn)通社，4月3日訊】江蘇南大光電材料股份有限公司（Nata Opto-electronic Material；股票代碼：300346）2017年年度報告顯示，其作為課題責(zé)任單位承擔(dān)了“極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝”專項項目“20-14nm先導(dǎo)產(chǎn)品工藝開發(fā)”的課題“ALD金屬有機前驅(qū)體產(chǎn)品的開發(fā)和安全離子注入產(chǎn)品開發(fā)”的開發(fā)任務(wù)，目前部分產(chǎn)品已經(jīng)通過客戶的驗證，產(chǎn)品未來將向半導(dǎo)體行業(yè)及面板行業(yè)進軍。

193nm光刻膠及配套材料啟動項目獲得國家02專項正式立項，得到中央財政補貼1,816.65萬元。公司組建了十多人的專職研發(fā)團隊，建成1500平方米研發(fā)中心，百升級光刻膠中試生產(chǎn)線正在建設(shè)中；產(chǎn)品研發(fā)進展和成果得到業(yè)界專家的認(rèn)可。同時，南大光電還建立了領(lǐng)先的創(chuàng)業(yè)者機制，在高科技項目創(chuàng)業(yè)、研發(fā)、產(chǎn)業(yè)化等方面建立一系列領(lǐng)先的薪酬、股權(quán)和知識產(chǎn)權(quán)管理機制，這是保障公司持續(xù)創(chuàng)新和創(chuàng)業(yè)的基礎(chǔ)。

公司2016年與科學(xué)技術(shù)部針對“ALD金屬有機前驅(qū)體產(chǎn)品的開發(fā)和安全離子注入產(chǎn)品開發(fā)”項目簽訂了《國家科技重大專項課題任務(wù)合同書》，課題的研究內(nèi)容是ALD金屬有機前驅(qū)體產(chǎn)品的開發(fā)和安全氣體源開發(fā)。本課題的研究目標(biāo)是實現(xiàn)安全氣體源的國產(chǎn)化和開發(fā)出適用于20-14nm先導(dǎo)產(chǎn)品的工藝的ALD前驅(qū)體以及其相關(guān)的工藝驗證。目前該項目正在按計劃順利進行。

公司2017年與科學(xué)技術(shù)部針對“高分辨率光刻膠與先進封裝光刻膠產(chǎn)品關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)”項目簽訂了《國家科技重大專項項目任務(wù)合同書》，課題的研究內(nèi)容是開展193nm光刻膠配方及配套材料的關(guān)鍵技術(shù)的研究；本課題的研究目標(biāo)是完成193nm光刻膠的配方研發(fā)，建設(shè)193nm光刻膠性能評估測試驗證平臺。目前該項目正在按計劃順利進行。

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