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Manz亞智科技跨入半導(dǎo)體領(lǐng)域提供化學(xué)濕制程、涂布及激光應(yīng)用等
2017/12/21 11:29:27     

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【產(chǎn)通社,12月20日訊】Manz集團(tuán)消息,其正式跨入半導(dǎo)體領(lǐng)域,為面板級扇出型封裝(FOPLP)提供各式相關(guān)生產(chǎn)設(shè)備解決方案,幫助半導(dǎo)體制造商以顯著的成本優(yōu)勢提高產(chǎn)量。

Manz亞智科技總經(jīng)理兼顯示器事業(yè)部主管林峻生表示:“這是我們在與著名半導(dǎo)體設(shè)備廠美商科林研發(fā)(Lam Research)合作成立合資公司泰洛斯制造股份有限公司(Talus Manufacturing Ltd.)后,深入半導(dǎo)體行業(yè)的進(jìn)一步舉措。 這標(biāo)志著Manz亞智科技將核心技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域積極加快向半導(dǎo)體領(lǐng)域擴(kuò)展?jié)B透的里程碑! 

Manz亞智科技總經(jīng)理兼顯示器事業(yè)部主管林峻生表示:“數(shù)十年來,Manz亞智科技在顯示器行業(yè)的生產(chǎn)設(shè)備解決方案一直深獲客戶信賴,設(shè)備銷售實(shí)績在2017年已超過3,000臺的總量,證明我們的實(shí)力。此次為面板級扇出型封裝推出生產(chǎn)設(shè)備解決方案,象征著Manz正式跨入半導(dǎo)體制造領(lǐng)域,展望2018年在此新的領(lǐng)域能有新的斬獲,協(xié)助客戶以更優(yōu)化的生產(chǎn)效率并有效降低生產(chǎn)成本。”


產(chǎn)品特點(diǎn)


基于在平面顯示器及印刷電路板濕制程設(shè)備多年豐富經(jīng)驗(yàn)及制程技術(shù),Manz亞智科技為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)之面板級扇出型封裝提供化學(xué)濕制程、涂布及激光應(yīng)用等生產(chǎn)設(shè)備解決方案,搭配Manz自動化整合系統(tǒng). 配合客戶定制化規(guī)格需求,幫助客戶縮短產(chǎn)品開發(fā)時(shí)程,并建立專屬制程參數(shù),使產(chǎn)品能盡快進(jìn)入產(chǎn)品送樣進(jìn)而量產(chǎn)。
. 化學(xué)濕制程設(shè)備:載板清洗機(jī)、光阻顯影機(jī)、銅鈦蝕刻機(jī)及光阻剝膜機(jī)。
. 涂布設(shè)備:采用狹縫式涂布技術(shù)(slit nozzle coating),此涂布技術(shù)已在TFT-LCD及觸控面板產(chǎn)業(yè)廣泛地應(yīng)用,材料利用率可達(dá)95%以上,搭配適當(dāng)光阻材料,涂布均一性可達(dá)1.5%以內(nèi)。
. 激光相關(guān)設(shè)備:Manz與多家德國激光射源及光學(xué)鏡片廠商合作,提供包括激光鉆孔、激光切割及激光剝離(de-bounding)等設(shè)備,結(jié)合系統(tǒng)及制程整合的能力,為客戶的特殊需求進(jìn)行開發(fā)制造。

近年來,智能手機(jī)扮演著電子終端產(chǎn)品的重要成長動能,牽動整個產(chǎn)品供應(yīng)鏈的轉(zhuǎn)變,如扇出型封裝技術(shù)導(dǎo)入智能手機(jī)的應(yīng)用處理器便是其中一例。傳統(tǒng)上手機(jī)應(yīng)用處理器用覆晶堆疊封裝技術(shù)(Flip Chip Package on package)進(jìn)行邏輯芯片及記憶體芯片堆疊,若改用扇出型封裝技術(shù),因其底層邏輯芯片不需載板,整體封裝便可節(jié)省20%以上厚度,符合智能手機(jī)薄型化的趨勢。扇出型封裝依制程載具的不同,可分為扇出型晶圓級封裝及近來被廣泛討論的扇出型面板級封裝。在加速生產(chǎn)周期及降低成本的考慮下,扇出型面板級封裝具有顯著的成本及效能優(yōu)勢(晶圓級封裝制程面積使用率較低<85%,面板制程面積使用率>95%),也開始引發(fā)市場高度重視,封裝大廠如韓國三星電子、日月光、力成科技及硅品等,在技術(shù)開發(fā)方向已由晶圓級制程轉(zhuǎn)向面板級封裝制程。
 
Manz亞智科技擁有強(qiáng)大的開發(fā)團(tuán)隊(duì),多年來一直為面板級應(yīng)用(如顯示器和印刷電路板行業(yè))提供濕制程處理解決方案,在多種制程功能和自動化整合上積累了許多成功經(jīng)驗(yàn)。在面板級扇出型封裝生產(chǎn)制程中,載板翹區(qū)幾乎是所有相關(guān)設(shè)備都會面臨的問題,也關(guān)系到產(chǎn)能及制程良率。Manz亞智科技提供輸送類型(Conveyor type)的濕制程設(shè)備,獨(dú)特的載板翹區(qū)壓制設(shè)計(jì),得以保證載板在傳輸過程維持平整,減少破片率。通過特殊噴嘴配置及噴盤擺動機(jī)制達(dá)到化學(xué)品精準(zhǔn)流量及溫度控制,可搭配在線實(shí)時(shí)濃度監(jiān)控系統(tǒng),進(jìn)行新化學(xué)液添加,維持制程的穩(wěn)定及化學(xué)品的使用壽命延長,同時(shí)降低化學(xué)品耗用量,不僅確保制程對均一性的高標(biāo)準(zhǔn)需求,更達(dá)到降低成本的綜效。 

Manz生產(chǎn)設(shè)備解決方案具體優(yōu)勢:
·定制化產(chǎn)品:面板級扇出型封裝為業(yè)界新需求,設(shè)備規(guī)格尚未有共同標(biāo)準(zhǔn),例如面板尺寸、制程條件等,Manz可配合客戶需求而提供最適合的定制化機(jī)臺設(shè)計(jì)。
·自動化整合:搭配機(jī)器手臂或自動化升降平臺傳輸面板進(jìn)出制程槽體,達(dá)到全自動生產(chǎn)流程。
·在線式(In-Line)系統(tǒng)設(shè)計(jì):輸送帶傳輸機(jī)臺搭配制程條件調(diào)整面板產(chǎn)出,產(chǎn)能輸出優(yōu)于其他形式批次式機(jī)臺。
·專利機(jī)械壓制設(shè)計(jì):針對面板級扇出型封裝,由于, Manz獨(dú)特載板翹區(qū)壓制設(shè)計(jì),克服芯片重新配置在面板上所產(chǎn)生載板翹區(qū)問題,傳輸過程維持面板平整,達(dá)到最佳制程結(jié)果。


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詢進(jìn)一步信息,請?jiān)L問官方網(wǎng)站http://www.manz.com。(Jennifer Tsao / 曹紋嘉,LEWIS)    (完)
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