【產(chǎn)通社，11月26日訊】致茂電子（Chroma ATE Inc.；TWSE股票代碼：2360）官網(wǎng)消息，其投資的兆晟納米科技于24日與工業(yè)技術(shù)研究院進(jìn)行“納米粒子監(jiān)控技術(shù)”轉(zhuǎn)移簽約儀式。工研院并將成為兆晟納米科技的重要股東。兆晟納米科技已于日前獲準(zhǔn)進(jìn)入新竹科學(xué)園區(qū)，發(fā)展、制造半導(dǎo)體先進(jìn)制程所使用溶液的納米粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，有效協(xié)助提升半導(dǎo)體制程良率。

半導(dǎo)體制程中常用到大量溶液，進(jìn)行晶圓表面的清洗、研磨與蝕刻。隨著半導(dǎo)體制程從20nm、10nm乃至7nm，晶體管縮小會(huì)使電流通道的寬度越窄。故制作過程中只要溶液出現(xiàn)一絲雜質(zhì)--殺手級(jí)的納米粒子，就會(huì)影響產(chǎn)品良率。目前現(xiàn)有的光散射粒子量測(cè)技術(shù)在20nm以下已難以精準(zhǔn)偵測(cè)溶液中粒子的大小、數(shù)量，導(dǎo)致半導(dǎo)體制程良率難以控管。兆晟納米將提供半導(dǎo)體廠一副”鷹眼“般的眼鏡：“新世代溶液納米粒子監(jiān)測(cè)系統(tǒng)-SuperSizer”可準(zhǔn)確偵測(cè)制程液態(tài)環(huán)境中5nm以上粒子的大小與分布情形，使廠商得以采取必要的措施改善制程提升良率。此技術(shù)除應(yīng)用于半導(dǎo)體先進(jìn)制程，亦可應(yīng)用在電子、光電、生醫(yī)材料等領(lǐng)域。

兆晟納米科技將結(jié)合致茂集團(tuán)營(yíng)運(yùn)據(jù)點(diǎn)及行銷通路，拓展全球市場(chǎng)。致茂電子為精密電子量測(cè)儀器、自動(dòng)化測(cè)試系統(tǒng)、智慧制造系統(tǒng)與全方位Turnkey測(cè)試及自動(dòng)化解決方案領(lǐng)導(dǎo)廠商，在半導(dǎo)體測(cè)試領(lǐng)域已具備多項(xiàng)后端制程精密量測(cè)產(chǎn)品線，兆晟納米科技的加入將成為致茂集團(tuán)提供半導(dǎo)體前端制程檢測(cè)解決方案的供應(yīng)商，滿足半導(dǎo)體制程更完整的檢測(cè)需求。

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