【產(chǎn)通社，6月22日訊】中國科學院微電子研究所（Microelectronice of Chinese Academy of Sciences）官網(wǎng)消息，其與日本愛發(fā)科集團（ULVAC Group）聯(lián)合實驗室簽字儀式6月14日下午在微電子所會議室隆重舉行，所長葉甜春、副所長劉新宇、處長王文武、愛發(fā)科集團代表取締役執(zhí)行役員社長小日向久治、執(zhí)行役員齊藤一也、室長鄒弘綱，愛發(fā)科（蘇州）技術研究開發(fā)有限公司總經(jīng)理楊秉君等領導以及來半導體領域的各企業(yè)專家包括北京耐威科技（BEIJING NAVGNSS INTEGRATION CO. LTD；股票代碼：300456）、歌爾聲學股份（GoerTek Inc.；股票代碼：002241）、中芯國際（SMIC；NYSE股票代碼：SMI；HKEX股票代碼：981）、上海華宏宏力、華潤微電子（China Resources Microelectronics Limited）、中科微機電技術、中科漢天下（HunterSun Electronics）、華進半導體封裝公司（National Center for Advanced Packaging）等研究者約50人出席并見證了簽字儀式。 

株式會社ULVAC是以在各領域獲得廣泛應用的真空技術為基礎，以開創(chuàng)精細加工工藝為追求目標的研究開發(fā)綜合企業(yè)。其產(chǎn)品從FPD、電子半導體、太陽電池作用的真空設備到標準零部件，材料及真空鍍膜等業(yè)務。目前在中國已經(jīng)設立了15家公司，未來在中國的投資還會不斷擴大，在以電子技術和通訊技術為首的包括能源、環(huán)保、運輸、醫(yī)藥、食品、化工、生物工程等廣闊的領域中，株式會社ULVAC以設備生產(chǎn)為中心，提供先進的真空技術產(chǎn)品，優(yōu)質(zhì)完善的服務，不斷滿足顧客的需求。 

這次成立聯(lián)合實驗室，雙方運用中科院微電子所擁有的微電子器件有關的技術和愛發(fā)科集團擁有的與真空鍍膜設備及工藝技術有關的技術，在MEMS、存儲器、功率器件及傳感器領域，針對開發(fā)主題共同實施開發(fā)，互相協(xié)助力求其實用化。雙方一致認為，雙方具有非常強的優(yōu)勢互補關系，是充分發(fā)揮雙方各自特長、實現(xiàn)產(chǎn)學研無縫對接、可同時滿足核心技術研究和產(chǎn)業(yè)化需要的最佳途徑。雙方將成立聯(lián)合實驗室，在資源共享、技術開發(fā)、人才交流與培訓等方面進行深入合作，以支持和推動在相關核心技術方面的研究和積累。聯(lián)合實驗室將成為雙方合作的窗口和新技術科研成果的實驗基地。 

聯(lián)合實驗室將利用ULVAC制造SME-200型濺射設備開展微電子工藝開發(fā)，ULVAC SME-200設備是一款多功能濺射設備，最多可以搭載8個腔室，可針對研究開發(fā)和少量生產(chǎn)用途，在8inch Si基板上進行沉積金屬，氧化物，氮化物薄膜等先進材料，設備可實現(xiàn)全自動搬送、數(shù)據(jù)自動存儲、保證工藝結(jié)果穩(wěn)定性等功能。通過利用該設備，雙方將在MEMS、存儲器、功率器件及傳感器等領域展開工藝研發(fā)合作。 

聯(lián)合實驗室的成立，體現(xiàn)了愛發(fā)科集團大力推進本土化產(chǎn)業(yè)的戰(zhàn)略方針。與中科院微電子所共同合作，針對中國正在大力發(fā)展的電子半導體產(chǎn)業(yè)，提高研發(fā)實力，加快推進前沿技術產(chǎn)業(yè)化，以產(chǎn)學研結(jié)合的模式，實施人才與科技創(chuàng)新雙輪驅(qū)動戰(zhàn)略，為國內(nèi)的半導體企業(yè)提供技術支持、工藝驗證的平臺。 

這次簽字儀式的獲得圓滿成功，期待著愛發(fā)科集團與中科院微電子所合作的積極進展結(jié)果，將推動中國半導體MEMS傳感器技術實現(xiàn)跨越式發(fā)展。查詢進一步信息，請訪問官方網(wǎng)站http://www.ime.cas.cn。    （完）