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 【產(chǎn)通社,3月4日訊】上海微電子裝備有限公司(SMEE)官網(wǎng)消息,經(jīng)上海市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會(huì)、上海市科學(xué)技術(shù)委員會(huì)、上海市張江高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開發(fā)區(qū)管理委員會(huì)聯(lián)合評(píng)審,其SSB245/10投影光刻機(jī)入選《2016年度上海市創(chuàng)新產(chǎn)品推薦目錄》。 查詢進(jìn)一步信息,請(qǐng)?jiān)L問(wèn)官方網(wǎng)站 http://www.smee.com.cn。 (完)
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