【產(chǎn)通社，12月11日訊】Gigaphoton株式會社消息，其使用半導(dǎo)體光刻用受激準(zhǔn)分子激光器，成功開發(fā)出用于退火工藝的新型KrF受激準(zhǔn)分子激光器，并且已經(jīng)于11月通過面板生產(chǎn)商的批量生產(chǎn)線開始進行評估。

Gigaphoton公司董事長兼總經(jīng)理兼CEO都丸仁先生表示：“本公司已將所開發(fā)的新型新KrF受激準(zhǔn)分子激光器列入“GIGANEX”系列的產(chǎn)品陣容，希望可以滿足更多客戶的需求�！癎IGANEX”系列產(chǎn)品今后將會繼續(xù)為FPD行業(yè)等各種領(lǐng)域提供有價值的解決方案�！�


產(chǎn)品特點


KrF受激準(zhǔn)分子激光器屬于GIGANEX品牌，為600W的高輸出功率，將作為退火用光源使用。對于高畫質(zhì)大型面板有著越來越嚴(yán)苛要求的國內(nèi)外面板生產(chǎn)商對本產(chǎn)品寄予了極大的期待。

GIGANEX是Gigaphoton公司運用迄今為止通過半導(dǎo)體光刻所積累的高超的技術(shù)能力開發(fā)的新型受激準(zhǔn)分子激光器的總稱，面向FPD生產(chǎn)、撓性設(shè)備生產(chǎn)工序、光刻以外的半導(dǎo)體生產(chǎn)等領(lǐng)域，與共同推進技術(shù)革新的伙伴一起，進一步探索受激準(zhǔn)分子激光器的可能性，不斷地為客戶提供有價值的解決方案。


供貨與報價


Gigaphoton公司預(yù)計于2017年夏天將批量生產(chǎn)的本產(chǎn)品推向市場。查詢進一步信息，請訪問官方網(wǎng)站http://www.gigaphoton.com。    （完）