【產(chǎn)通社，6月27日訊】Gigaphoton株式會(huì)社消息，其日前發(fā)布了綠色革新的新路線圖。在這里，綠色革新是指一項(xiàng)降低客戶環(huán)境負(fù)荷的活動(dòng)。該項(xiàng)目始于2003年。該公司充分利用在該項(xiàng)目中取得的成果和經(jīng)驗(yàn)，達(dá)到了進(jìn)一步降低使用成本的目的。

Gigaphoton董事長(zhǎng)、總經(jīng)理兼CEO都丸仁先生說(shuō)：“本公司將推進(jìn)建立環(huán)保型綠色工廠的綠色革新作為最重要的課題之一，積極地進(jìn)行相關(guān)的技術(shù)研發(fā)，得到了越來(lái)越多客戶的高度評(píng)價(jià)。為了向客戶提供有用的技術(shù)和產(chǎn)品，我們今后仍將一如既往地更加努力。”

為了應(yīng)對(duì)近年來(lái)業(yè)界所擔(dān)憂的氖氣和氦氣的供給量減少與漲價(jià)、以及全球范圍內(nèi)的電力使用量急劇增加的課題，Gigaphoton積極地采用獨(dú)自開(kāi)發(fā)的EcoPhoton計(jì)劃，2013年開(kāi)發(fā)了一種通過(guò)用氮?dú)獯婧獾姆椒▽⒑馐褂昧繙p少99%的技術(shù)，2014年開(kāi)發(fā)出了一種“eTGM”技術(shù)，通過(guò)該技術(shù)可以將氖氣消耗量最多減少50%。另外，該公司2015年開(kāi)發(fā)出的“eGRYCOS”技術(shù)可以將激光放電效率提高20%，借助于這項(xiàng)技術(shù)，在保持激光性能的同時(shí)，能夠降低15%的耗電量。

在此次發(fā)布的新路線圖中，以上技術(shù)得到了進(jìn)一步的改進(jìn)。針對(duì)氖氣開(kāi)發(fā)出了一種循環(huán)利用系統(tǒng)，利用該系統(tǒng)可以去除雜質(zhì)，并使再生的氖氣純度達(dá)到與氣缸供給的新鮮氣體同等的水平。這樣，可以使氖氣的使用量接近于零。另外，該公司還針對(duì)氦氣開(kāi)發(fā)出了一種穩(wěn)定性更高的技術(shù)，即使用氮?dú)獯婧庖膊粫?huì)犧牲光學(xué)特性。在電力方面，在確立提高最新光刻工序所要求的激光的高功率的目標(biāo)的同時(shí)，還計(jì)劃在2020年之前開(kāi)發(fā)出一種將耗電量減半的技術(shù)。

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