
【產(chǎn)通社,6月11日訊】中國(guó)科學(xué)院微電子研究所(Microelectronice of Chinese Academy of Sciences)官網(wǎng)消息,2015歐洲材料研究學(xué)會(huì)春季會(huì)議(2015 E-MRS Spring Meeting)5月10-15日在法國(guó)里爾召開(kāi),微電子所有關(guān)科研人員應(yīng)邀參加了會(huì)議。
會(huì)議期間,微電子所集成電路先導(dǎo)工藝研發(fā)中心(十室)主任趙超研究員作了特邀報(bào)告,十室工程師王桂磊和博士生陳文輝分別作了口頭報(bào)告。報(bào)告內(nèi)容涵蓋14nm FinFETs先進(jìn)工藝、先進(jìn)鍺硅外延技術(shù)、新型DSA光刻技術(shù),引起了國(guó)際同行的廣泛關(guān)注,獲得了一致好評(píng)。王桂磊因其在先進(jìn)鍺硅外延工藝方面取得的突出成果,獲評(píng)歐洲材料研究學(xué)會(huì)“青年科學(xué)家獎(jiǎng)”。微電子所科研人員還就相關(guān)技術(shù)問(wèn)題與國(guó)外學(xué)者和專(zhuān)家展開(kāi)了深入交流,與Intel公司、德國(guó)弗勞恩霍夫應(yīng)用研究促進(jìn)協(xié)會(huì)等單位建立了聯(lián)系,為今后的合作奠定了基礎(chǔ)。
本次會(huì)議提升了微電子所的國(guó)際影響力,加強(qiáng)了與國(guó)際同行的交流,將進(jìn)一步激勵(lì)和促進(jìn)微電子所科研人員在相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)進(jìn)步與創(chuàng)新。
歐洲材料研究學(xué)會(huì)春季會(huì)議具有很高的國(guó)際影響力,每年吸引全世界各專(zhuān)業(yè)領(lǐng)域產(chǎn)學(xué)研界的眾多學(xué)者、工程師和管理者參加,為其提供分享最新研究成果、討論研究進(jìn)展及尋找交流合作的平臺(tái)。近年來(lái),先進(jìn)微電子工藝技術(shù)作為功能材料的重要應(yīng)用領(lǐng)域成為了會(huì)議的重點(diǎn)關(guān)注領(lǐng)域,會(huì)上交流的研究成果均處于國(guó)際前沿水準(zhǔn)。
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