【產(chǎn)通社，6月2日訊】德國(guó)愛思強(qiáng)股份有限公司（AIXTRON；法蘭克福證券交易所：AIXA；納斯達(dá)克：AIXG）官網(wǎng)消息，Nano Carbon（波蘭）訂購(gòu)了愛思強(qiáng)的AIX G5 WW反應(yīng)器，并將其用于制造碳化硅石墨烯。Nano Carbon擁有低成本外延石墨烯專利技術(shù)，可在AIXTRON愛思強(qiáng)系統(tǒng)上實(shí)現(xiàn)。

Nano Carbon成立于2011年，其基礎(chǔ)是華沙電子材料技術(shù)研究所開發(fā)的技術(shù)。電子材料技術(shù)研究所的Wlodek Strupinski博士評(píng)論說(shuō)：“Nano Carbon將利用愛思強(qiáng)系統(tǒng)繼續(xù)開展碳化硅石墨烯研究，而且，我們還將運(yùn)用AIX G5 WW完成這項(xiàng)技術(shù)的商業(yè)化，實(shí)現(xiàn)大規(guī)模生產(chǎn)”。

AIXTRON愛思強(qiáng)歐洲區(qū)副總裁Frank Schulte博士補(bǔ)充說(shuō)：“我們很榮幸能提供該系統(tǒng)參與開發(fā)這項(xiàng)前景廣闊的技術(shù)，并支持Nano Carbon擴(kuò)展業(yè)務(wù)”。

應(yīng)用特點(diǎn)

AIX G5 WW反應(yīng)器于2015年第一季度下單，將于第四季度交付。系統(tǒng)配置將為每次運(yùn)行處理十片100mm或六片150mm基板。

AIX G5 WW設(shè)備適用于碳化硅沉積外延石墨烯所需要的超高溫環(huán)境，具備極高的晶圓生產(chǎn)能力。

Nano Carbon是歐盟石墨烯旗艦項(xiàng)目的準(zhǔn)成員，該項(xiàng)目的生產(chǎn)工作由AIXTRON愛思強(qiáng)主導(dǎo)。Nano Carbon熱切希望能向各研究團(tuán)體和致力于開發(fā)創(chuàng)新型石墨烯器件的行業(yè)提供優(yōu)質(zhì)碳化硅石墨烯。

供貨與報(bào)價(jià)

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