
【產(chǎn)通社,3月6日訊】德國愛思強(qiáng)股份有限公司(AIXTRON;法蘭克福證券交易所:AIXA;納斯達(dá)克:AIXG)官網(wǎng)消息,臺(tái)灣漢磊先進(jìn)投資控股之子公司——漢磊半導(dǎo)體晶圓股份有限公司(Episil Semiconductor Wafer, Inc.)運(yùn)用AIX G5 WW(Warm-Wall)反應(yīng)器成功制造了SiC磊晶。
漢磊Episil總經(jīng)理暨執(zhí)行長詹益仁Ian Chan博士表示,“我們之所以選擇AIXTRON愛思強(qiáng)行星式反應(yīng)器系統(tǒng),是因?yàn)锳IXTRON愛思強(qiáng)碳化硅系統(tǒng)能夠生產(chǎn)出優(yōu)質(zhì)的材料。漢磊Episil是生產(chǎn)用于電源管理元件和電源管理集成電路的硅磊晶片的龍頭企業(yè)。我們也曾利用AIXTRON愛思強(qiáng)的MOCVD技術(shù)生產(chǎn)硅基氮化鎵,如今,我們計(jì)劃將我們的合作領(lǐng)域拓展至硅基器件!
應(yīng)用特點(diǎn)
碳化硅和氮化鎵均用于電力應(yīng)用。雖然碳化硅器件已用于切換式電源供應(yīng)器,但碳化硅半導(dǎo)體材料的生成溫度要求非常高,需要就磊晶加工設(shè)備設(shè)計(jì)特定的解決方案。這就是AIX G5WW的定位所在,能夠完美契合新一代碳化硅電力電子的需求。G5WW系統(tǒng)能夠處理直徑長達(dá)8×150mm的碳化硅晶圓,并擁有市面上最高的晶圓生產(chǎn)能力以及快速的生產(chǎn)周期和低擁有成本。AIXTRON愛思強(qiáng)的工程師通過改善150mm碳化硅的均勻性和開發(fā)穩(wěn)健的生產(chǎn)流程來實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)良率的最大化。
漢磊 Episil成立于1985年,是臺(tái)灣首家硅磊晶片生產(chǎn)商。如今,該公司擁有超過1,400名員工,總資本約為1億美元。公司也運(yùn)營一家生產(chǎn)雙極性晶片、CMOS、DMOS和BCD制程的晶圓代工廠。
供貨與報(bào)價(jià)
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