【產(chǎn)通社，10月24日訊】蘇州納米科技發(fā)展有限公司（Nano Polis）官網(wǎng)消息，其日前在中國(guó)—新加坡蘇州工業(yè)園區(qū)舉辦了一場(chǎng)具有特別意義的MEMS傳感器產(chǎn)品交付會(huì)，將6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線(xiàn)的首個(gè)產(chǎn)品正式交付客戶(hù)。這也意味著國(guó)內(nèi)首條全開(kāi)放、市場(chǎng)化運(yùn)作的6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線(xiàn)正式運(yùn)營(yíng)，該中試線(xiàn)的投用將為我國(guó)中小MEMS企業(yè)的發(fā)展帶來(lái)福音。

該6英寸微納機(jī)電制造（MEMS）中試線(xiàn)的超凈場(chǎng)地、廠(chǎng)務(wù)配套設(shè)施、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室、公共服務(wù)等場(chǎng)地共16000平方米，其中超凈工藝場(chǎng)地5200平方米，是江蘇省“十二五”重大科技平臺(tái)項(xiàng)目，也得到了工信部“工業(yè)轉(zhuǎn)型升級(jí)服務(wù)平臺(tái)項(xiàng)目”支持。

中試線(xiàn)采用市場(chǎng)化、全開(kāi)放的運(yùn)作模式，主要開(kāi)展MEMS產(chǎn)品工藝研發(fā)、MEMS加工、部分封裝測(cè)試、專(zhuān)利運(yùn)營(yíng)、設(shè)備租賃、超凈場(chǎng)地租賃、工藝技術(shù)培訓(xùn)等十多項(xiàng)專(zhuān)業(yè)服務(wù)，目前已成功導(dǎo)入壓力傳感器、微鏡傳感器、微流體傳感器等產(chǎn)品，產(chǎn)品樣品測(cè)試結(jié)果良好，基本具備了MEMS芯片的開(kāi)發(fā)加工能力。查詢(xún)進(jìn)一步信息，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)官方網(wǎng)站http://www.nanopolis.cn。