CyberOptics Corporation旗下全資子公司CyberOptics Semiconductor公司1月9日宣布推出 WaferSense ATS（自動校準系統(tǒng)），這是對其無線操控類晶圓測量產(chǎn)品系列的一項引人注目的擴充。ATS 采用機器視覺來觀測半導(dǎo)體設(shè)備的內(nèi)部情況，并幫助避免代價高昂的晶圓誤操作，晶圓誤操作是高度自動化的半導(dǎo)體工廠中晶圓廢棄的一個重要原因。

    操作和維護現(xiàn)代200毫米和300毫米半導(dǎo)體制程設(shè)備的代價很高，這是因為它通常需要漫長的停工期和昂貴的耗材。因此，設(shè)備和維護工程師正不斷地尋求縮短停工期和更迅速地診斷和解決問題的機會。設(shè)備的可用性和性能可以通過更快、更精確地校準晶圓傳送位置而得到提升。現(xiàn)今的機器人“校準”過程（即決定晶圓傳送坐標并將它們載入機器人的控制器軟件）要求技術(shù)人員手動操控機器人的動作并估計晶圓傳送位置。這個過程不僅耗費人工，而且不準確，因為大多數(shù)校準位置的坐標是主觀的目視結(jié)果。目前所應(yīng)用的程序除了耗費人工且不準確之外，還要求在維護過程中使設(shè)備脫離生產(chǎn)線并被部分地拆除。

    出自CyberOptics Semiconductor的WaferSense ATS是一種創(chuàng)新型測量技術(shù)，為自動控制處理提供精確的晶圓傳送坐標，并同時降低設(shè)備維護時間和晶圓廢料。ATS可無線操控且類似晶圓，能像晶圓一樣進行操作。一旦被置于半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)，通過使用機器視覺技術(shù)，它能“看見”標記出晶圓傳送位置的目標（如負載鎖與制程艙），并將數(shù)字坐標傳送給用戶。由于無需拆除設(shè)備或?qū)⑵淅鋮s至維護工作溫度以下，晶圓廠能夠節(jié)省鑒定時間與耗材。ATS通過圖形用戶界面?zhèn)鬏攲崨r視頻與實時坐標數(shù)據(jù)，從而使設(shè)備的檢查與調(diào)整變得快速且容易。實況視頻使工程師無需打開設(shè)備便能找到丟失或損壞的晶圓。

    WaferSense ATS可用于200毫米和300毫米的設(shè)備，并可精確到+0.1毫米（x軸與y軸）以及+0.5毫米（z軸）。有易于使用的軟件進行數(shù)據(jù)記錄，以便在后繼的對比與分析工作中發(fā)現(xiàn)晶圓處理中的錯誤，同時幫助用戶“訓(xùn)練”ATS識別新的目標類型。過硬的數(shù)據(jù)與可復(fù)驗的坐標消除了技術(shù)人員之間在校準技術(shù)上的差別，消除了由于誤操作造成的晶圓廢料，從而最終提高了產(chǎn)量。

    CyberOptics Semiconductor總經(jīng)理Craig Ramsey表示：“由于由于[V1]晶圓耗材的幾何平面減小以及晶圓工廠自動化的增強，校準出精確且可復(fù)驗的晶圓傳送位置以獲得最大限度的生產(chǎn)力和產(chǎn)量變得至關(guān)重要。WaferSense ATS為維護工程師提供了坐標數(shù)據(jù)，因而使自動傳輸坐標校準變得快速、準確且可復(fù)現(xiàn)。憑借我們的ATS，晶圓廠能夠極大地減少停工時間和廢料�！�

    WaferSense ATS產(chǎn)品包括示例晶圓、潔凈裝料箱、USB連接線和應(yīng)用軟件（TeachView和TeachTarget）。WaferSense ATS屬于WaferSense系列產(chǎn)品，該系列產(chǎn)品還包括Auto Leveling System (ALS)和Auto Leveling System for Reticles (ALSR)、精確的無線類晶圓設(shè)備，用于對半導(dǎo)體晶圓制程和自動化設(shè)備進行快速而精確的校平。WaferSense產(chǎn)品能降低設(shè)備總擁有成本，而且無需對晶圓制程設(shè)備進行調(diào)整。

    欲知詳情，請訪問網(wǎng)站http://www.CyberopticsSemi.com，或發(fā)電郵至CSsales@cyberoptics.com，或致電800-366-9131。