【產(chǎn)通社,12月25日訊】中國(guó)科學(xué)院微電子研究所(Microelectronice of Chinese Academy of Sciences)官網(wǎng)消息,其日前在面向應(yīng)用的阻變存儲(chǔ)器研究上取得新進(jìn)展。
阻變存儲(chǔ)器(RRAM)是非揮發(fā)性存儲(chǔ)器的一種重要的替代方案,具有工藝及器件結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、微縮性好、高速、低功耗、可嵌入功能強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。微電子所納米加工與新器件集成技術(shù)研究室科研人員在前期建立新材料、新結(jié)構(gòu)及與大生產(chǎn)CMOS集成的驗(yàn)證平臺(tái)的研究基礎(chǔ)上,在實(shí)用化所需的高性能高可靠性器件方面取得了重要進(jìn)展。
科研人員在1kb RRAM陣列的基礎(chǔ)上,對(duì)器件的可靠性展開(kāi)了系統(tǒng)研究,建立了失效模型和參數(shù)離散性統(tǒng)計(jì)模型;建立了一系列完善的阻變機(jī)理分析、表征和模擬方法;在超低功耗器件結(jié)構(gòu)、自整流器件結(jié)構(gòu)、雙極性1D1R結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)方面取得突破,為RRAM的3D集成提供了解決方案。
該科研項(xiàng)目相關(guān)工作也得到了國(guó)家科技重大專(zhuān)項(xiàng)的支持,并發(fā)表在Advanced Materials、Nature子刊Scientific Reports、Nanoscale、IEEE Electron Device Letters、Applied Physics Letters等期刊上,進(jìn)一步提升了微電子所在RRAM領(lǐng)域的國(guó)際影響力。
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